技術參數;
真空腔體 |
類型 | 高溫型室溫到400℃ KT-Z165M4RT |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
腔體內尺寸 | 135mmX57mmX21mm 容積165ML |
腔體重量 | 約2KG |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離) |
腔體抽氣口 | KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉接) |
腔體進氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 |
腔體水冷接口 | 6mm快擰 或 6mm快插 |
腔體正壓 | ≤0.05MPa |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa (5分鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘) |
樣品臺 |
樣品臺材質 | 不銹鋼 |
樣品臺尺寸 | 30x30mm |
樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 |
樣品臺-視窗 距離 | 10mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離) |
樣品臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 |
樣品臺溫度 | 室溫到400℃ |
樣品臺測溫誤差 | ±0.2℃ |
樣品臺升溫速率 | 高溫20℃/min 最大值 低溫7℃/min |
溫控儀 |
溫度顯示 | 7寸人機界面 |
溫控類型 | 標準PID溫控 +自整定 |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫控精度 | ±0.2℃ |
溫度信號輸入類型 | PT100 (可選K S B型熱電偶) |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 |
輔助功能 | 溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口 |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm |
溫控器重量 | 約5.6KG |
探針 |
電信號接頭 | 配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 選其一 線長1.2米 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
探針數量 | 4探針(可擴展6探針) |
探針材質 | 鎢合金探針 (其他材質可選) |
探針尖 | 50μm (其他規(guī)格可選) |
手動探針移動平臺 |
X軸移動行程 | 15mm ±7.5mm(需手動推動滑臺) |
X軸控制精度 | ≥500μm |
R軸移動行程 | 120° ±60°(需手動旋轉探針桿) |
R軸控制精度 | ≥500μm |
Z軸移動行程 | 2mm ±1mm |
Z軸控制精度 | ≤50μm(需手動螺紋調節(jié)探針桿) |
微型真空探針臺主要由針頭、真空室、控制系統(tǒng)和測量系統(tǒng)等組成。針頭是探針臺的核心部件,它由一組金屬針組成,可以實現對樣品的精確測量。真空室是用于放置樣品的容器,它必須能夠保持高真空狀態(tài),以確保測試的準確性??刂葡到y(tǒng)用于控制探針臺的各項操作,包括針頭的移動和樣品的放置等。測量系統(tǒng)則用于測試樣品的性能,包括光學和電學性能等
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