微型真空探針臺(tái) 氣敏光學(xué)電信息測(cè)試

真空腔體

類型

高溫型室溫到400℃ KT-Z165M4RT

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

腔體內(nèi)尺寸

135mmX57mmX21mm 容積165ML

腔體重量

約2KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

腔體抽氣口

KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）

腔體進(jìn)氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)材質(zhì)

不銹鋼

樣品臺(tái)尺寸

30x30mm

樣品臺(tái)加熱方式

電阻加熱

樣品臺(tái)-視窗 距離

10mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺(tái)溫度

室溫到400℃

樣品臺(tái)測(cè)溫誤差

±0.2℃

樣品臺(tái)升溫速率

高溫20℃/min 最大值 低溫7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.2℃

溫度信號(hào)輸入類型

PT100 （可選K S B型熱電偶）

溫控輸出

直流線性電源加熱

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

探針

電信號(hào)接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 選其一

線長(zhǎng)1.2米

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA

探針數(shù)量

4探針（可擴(kuò)展6探針）

探針材質(zhì)

鎢合金探針 （其他材質(zhì)可選）

探針尖

50μm （其他規(guī)格可選）

手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

15mm ±7.5mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)）

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動(dòng)行程

120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿）

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移動(dòng)行程

2mm ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿）