《硅片薄膜厚度的測試 光學反射法》意見征求(2020-11-10)

為了防止在外延過程中的自摻雜，通常會在硅片背表面生產(chǎn)一層氧化膜作為背封膜，而膜厚及其均勻性以對多晶層的質量及均勻性會直接影響集成電路后續(xù)工藝的成品率，故而需要對該工藝進行有序規(guī)范…[詳情]

少子壽命測試儀可對硅片進行測量(2018-08-06)

數(shù)字式硅晶體載流子復合壽命測試儀/少子壽命測試儀（鑄造多晶）型號：KDKLT-200貨號：ZH8204產(chǎn)品簡介:100C型200型的的最大區(qū)別只是紅外激光管的功率大了一倍，加了個紅外地光照破除陷進效應τ:1～…[詳情]

硅片超聲波清洗技術(2013-10-21)

在半導體材料的制備過程中，每一道工序都涉及到清洗，而且清洗的好壞直接影響下一道工序，甚至影響器件的成品率和可靠性。由于ULSI集成度的迅速提高和器件尺寸的減小，對于晶片表面沾污的要求更加嚴…[詳情]

碳化硅制砂機1晶硅片生產(chǎn)專用材料(2013-07-16)

碳化硅是光伏產(chǎn)業(yè)鏈上游環(huán)節(jié)——晶硅片生產(chǎn)過程中的專用材料，受光伏行業(yè)發(fā)展的帶動，碳化硅行業(yè)通過產(chǎn)品結構升級和下游需求的擴展帶來了一些機會。在不同的領域對碳化硅的粒度要求是有…[詳情]