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磁控濺射金屬膜 磁控濺射金靶的簡單介紹

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小型濺射儀
KT-Z1650PVD 是一款小型臺(tái)式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反
饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對
大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,真空腔室為透明玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄
膜,可制備各種金屬薄膜。

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