熱點(diǎn)快評：重大突破！我國拿到光刻機(jī)“入場券”(2020-11-16)

今年以來，美國連續(xù)發(fā)布的幾項(xiàng)禁令，讓我國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展舉步維艱。禁令對于芯片技術(shù)和供應(yīng)鏈的切斷，讓國內(nèi)基本喪失了在高端芯片領(lǐng)域發(fā)展的能力。但這樣的局面并不會一直持續(xù)下去，11月14日，據(jù)央…[詳情]

國產(chǎn)超級光刻機(jī)火熱刷屏 核心技術(shù)突破刻不容緩(2018-12-05)

【中國儀表網(wǎng)儀表產(chǎn)業(yè)】近日，一篇名為《我國研制世界首臺分辨力最高紫外超分辨光刻裝備》的新聞報(bào)道在各大媒體瞬時刷屏，尤其是席卷了半導(dǎo)體領(lǐng)域，在相關(guān)業(yè)內(nèi)人士的朋友圈、微博受到大量轉(zhuǎn)載。但該火熱…[詳情]

面對壟斷，自主研發(fā)光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代勢在必行(2017-08-14)

光刻機(jī)作為芯片生產(chǎn)中最核心的設(shè)備，是大陸芯片生產(chǎn)設(shè)備制造的最大短板。不少人會將光刻機(jī)和刻蝕機(jī)搞混，其實(shí)，光刻機(jī)的工作原理是用光將電路結(jié)構(gòu)臨時“復(fù)制”到硅片上，而刻蝕機(jī)是按光刻…[詳情]

光電所研制出實(shí)用深紫外光刻機(jī)(2017-07-31)

近日，中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子專用設(shè)備研發(fā)團(tuán)隊(duì)研制成功波長254nm的實(shí)用深紫外光刻機(jī)（Maskaligner），光刻分辨力達(dá)到500nm。 　　Maskaligner因使用方便、效率高、成本低，一直是使用面最廣、使用…[詳情]

光電所成功研制出實(shí)用深紫外光刻機(jī)(2017-07-28)

近日，中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子專用設(shè)備研發(fā)團(tuán)隊(duì)研制成功波長254nm的實(shí)用深紫外光刻機(jī)(Maskaligner)，光刻分辨力達(dá)到500nm。 (a)設(shè)備外觀圖；(b)設(shè)備輸出光譜實(shí)測曲線 　　Maskaligner因使用方…[詳情]

光電所自主研制成功紫外納米壓印光刻機(jī)(2016-04-06)

近日，中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子專用設(shè)備研發(fā)團(tuán)隊(duì)在微納制作設(shè)備領(lǐng)域再次發(fā)力，自主研制成功紫外納米壓印光刻機(jī)，其成本僅為國外同類設(shè)備的三分之一，推進(jìn)我國微納實(shí)用制造水平邁上新的臺階?！?a href='http://www.bhmbl.cn/news/d174601.html' target='_blank' class='iii'>[詳情]