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預(yù)處理真空烘箱
HMDS預(yù)處理真空烘箱在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用(2019-07-02)
一、預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，而涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝顯得更為必要，尤其在所刻線條比較細(xì)的時候，任何一個環(huán)節(jié)出現(xiàn)一…[詳情]
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