采用熱掃描探針光刻和激光直寫相結(jié)合的方法快速制備點接觸量子點硅基晶體管(2019-02-27)

制造高品質(zhì)的固態(tài)硅基量子器件要求高分辨率的圖形書寫技術(shù)，同時要避免對基底材料的損害。來自IBM實驗室的Rawlings等人利用SwissLitho公司生產(chǎn)的3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機NanoFrazor，結(jié)合其高分辨熱探…[詳情]

我國成功研制新型中紫外直接光刻機(2017-04-18)

近日，一種新型的中紫外直接光刻機由中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子專用設(shè)備研發(fā)團隊在國內(nèi)研制成功。該設(shè)備采用特有的高均勻、高準(zhǔn)直中紫外照明技術(shù)，結(jié)合光敏玻璃材料，實現(xiàn)基于光敏玻璃基底的微…[詳情]