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公司所在地:河南鄭州

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詳細信息

直流磁控濺射儀金屬制備鍍膜的簡單介紹

金靶材鍍膜磁控濺射,7寸人機界面,自動手動模式切換控制,最大功率1000w直流磁控濺射

直流磁控濺射儀金屬制備鍍膜的詳細信息

金靶材鍍膜磁控濺射,7寸人機界面,自動手動模式切換控制,最大功率1000w直流磁控濺射

單靶直流磁控濺射鍍膜儀可用于制備單層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜等。該單靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優(yōu)點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備,特別適用于實驗室研究固態(tài)電解質及OLED等

單靶直流磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發(fā)的一款高性價比磁控濺射鍍膜設備,具有標準化、模塊化、可定制化的特點。

所配電源為1000W大功率直流電源,可用于高能量的金屬濺射鍍膜,根據(jù)實驗需求也可以選配其他規(guī)格的直流或者射頻電源來實現(xiàn)各種材料的鍍膜操作。

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金靶材鍍膜磁控濺射技術參數(shù);

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V 電流≤1A

真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉φ62 (可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調節(jié)距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa)

預留真空接口

KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口



以上是直流磁控濺射儀金屬制備鍍膜的詳細信息,如果您對直流磁控濺射儀金屬制備鍍膜的價格、廠家、型號、圖片有任何疑問,請聯(lián)系我們獲取直流磁控濺射儀金屬制備鍍膜的最新信息

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