利用高能高臭氧紫外線束分解空氣中的氧分子，產生游離氧，即活性氧。由于自由氧攜帶的正負電子不平衡，需要與氧分子結合產生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對有機氣體和其他刺激性氣味的去除有很快的效果。利用排氣設備將有機氣體輸入凈化設備后，利用高能紫外光和臭氧對有機（異味）氣體進行分解和氧化，使有機氣體降解為低分子化合物、水和二氧化碳，然后通過排氣管排出體外。