半導(dǎo)體廠廢氣處理工藝

    （一）酸堿性廢氣

    工藝流程：酸/堿性廢氣→酸/堿式洗滌塔→離心風(fēng)機(jī)→煙囪（達(dá)標(biāo)排放）

    設(shè)備介紹

    洗滌塔的工作原理：洗滌塔的結(jié)構(gòu)型式分為立式和臥式。

    立式洗滌塔的工作原理為氣液兩相逆流接觸；含酸堿污染物的廢氣由塔下部進(jìn)口進(jìn)入塔內(nèi)向上運(yùn)動(dòng)，通過(guò)單層或多層填料，廢（尾）氣與液相充分接觸后吸收或中和，干凈的氣體經(jīng)過(guò)上層的除霧層排出，從而達(dá)到吸收和凈化效果。

    臥式結(jié)構(gòu)的工作原理為氣液兩相交叉流接觸，廢（尾）氣通過(guò)填料層段時(shí)與液相充分接觸后吸收或中和，從而達(dá)到吸收或凈化的效果。

    設(shè)備本身包含有洗滌塔本體、填料層、除霧層、循環(huán)水管路，及循環(huán)水箱等。

    （二）有機(jī)類廢氣VOCs

    1、工藝流程

    工作原理：待處理的有機(jī)混合廢氣經(jīng)引風(fēng)機(jī)作用，先經(jīng)過(guò)預(yù)處理過(guò)濾裝置去除廢氣中的粉塵及雜質(zhì)部分，否則直接吸附會(huì)堵塞沸石的微縮孔，從而影響吸附效果甚z失效，經(jīng)過(guò)初步過(guò)濾后相對(duì)純凈的有機(jī)廢氣進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置進(jìn)行吸附凈化處理，有機(jī)物質(zhì)被轉(zhuǎn)輪沸石特有的作用力截留在其內(nèi)部，潔凈氣體排出，經(jīng)過(guò)一段時(shí)間吸附后，沸石轉(zhuǎn)輪達(dá)到飽和狀態(tài)，轉(zhuǎn)輪按照一定的速度（每小時(shí)1-3轉(zhuǎn)）自動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)入冷卻和高溫脫附區(qū)域。

    沸石轉(zhuǎn)輪脫附出來(lái)的高濃度廢氣直接進(jìn)入TO直燃式焚燒爐進(jìn)行焚燒凈化處理，廢氣焚燒后的爐膛燃燒室高溫氣體與內(nèi)部熱交換器進(jìn)行熱交換預(yù)熱進(jìn)來(lái)的脫附廢氣，使脫附廢氣換熱后溫度控制在300-350℃左右進(jìn)入燃燒室燃燒，燃燒后經(jīng)內(nèi)部換熱器降溫后進(jìn)入尾部二級(jí)煙氣余熱利用裝置，d一級(jí)余熱利用裝置用于脫附，升溫后的潔凈氣體進(jìn)入轉(zhuǎn)輪脫附區(qū)用于脫附，沸石中的有機(jī)物受到熱空氣加熱后從沸石中揮發(fā)出來(lái)，此時(shí)脫附出來(lái)的廢氣屬于濃度高、風(fēng)量小、溫度高的有機(jī)廢氣再進(jìn)入二級(jí)煙氣余熱利用裝置用于將廢氣溫度二次提高，進(jìn)入TO焚燒爐焚燒處理，再次降低TO焚燒爐焚燒的運(yùn)行成本。做到真正的節(jié)能、環(huán)保。同時(shí)整套裝置安q、可靠、無(wú)任何二次污染。