英國愛德華真空泵EH1200羅茨增壓泵的簡單介紹EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是最受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。英國愛德華真空泵EH1200羅茨增壓泵的詳細信息EDWARDS 愛德華EH系列羅茨真空泵 EH/QMB系列 EH250、EH500、EH1200、EH2600、EH4200、QMB250、QMB500、QMB1200、QMB2600、QMB4200 概述: EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是最受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。 機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。 防爆型機械增壓泵可能配備防爆型電機,或作為防爆型系統(tǒng)的一部分供貨。 應用 半導體制程 真空蒸餾 真空包裝 鋼脫氣 薄膜覆層 真空冶金 低密度風洞 空間模擬 真空浸漬 油干燥和脫氣 制藥冷凍干燥 CO2 激光 功能和優(yōu)勢 適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。 它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。 EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供: 安靜的無振動運行。 牢靠且防腐蝕。 先進的軸封技術,處理艙中不會出現(xiàn)油污染 防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。 經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到最低。 軸封的設計經(jīng)過優(yōu)化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。 動態(tài)平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。 容積(工作容積) 50Hz 1195 m3h-1/715 ft3min-1 60Hz 1435 m3h-1/845 ft3min-1 使用后備泵時的有效抽取速度 E2M80 840 m3h-1/495 ft3min-1 E2M175 930 m3h-1/548 ft3min-1 E2M275 1020 m3h-1/601 ft3min-1 泵的壓差 ? 50Hz 0-90 mbar/0-68 Torr 60Hz 0-75 mbar/0-56 Torr 入口連接 ISO160 出口連接 ISO100 轉速 50Hz 0-2900 rpm 60Hz 0-3500 rpm 連續(xù)入口操作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr 最大出口壓力 1000 mbar/760 Torr 推薦的后備泵 GXS160,GXS250,E2M80,E2M175 電源供給 50Hz 220-240V/380-415V 60Hz 230V/460V 馬達功率 碳氫化合物 3kW/4hp PFPE 3kW/4hp ATEX 3kW 防爆型 4hp 環(huán)境溫度范圍 操作 5 至 40°C/40 至 104°F 存儲 -10 至 80°C/14 至 176°F 最大操作濕度 90% RH 推薦的冷卻水流量(入口溫度 20°C) 120 l h-1/0.53 gal min-1 推薦的冷卻水供應壓力* 2-6 bar 冷卻水接頭 3/8 英寸 BSP 陽螺紋 推薦用油 標準型 Ultragrade 20 PFPE 版本 Fomblin? YVAC 16/6 油容量 齒輪箱 1.25 升 聯(lián)結器箱 2.4 升 軸桿封口儲油器 0.125 升 重量 149 kg
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