科研微型真空高低溫探針臺氣敏光學電信號測試

真空腔體

型號

KT-Z165M4LT

類型

高低溫型：室溫到 400℃ 室溫到-190℃

腔體材質

304不銹鋼

腔體內尺寸

135mmX57mmX21mm 容積165ML

腔體重量

約2KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

腔體抽氣口

KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉接）

腔體進氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品臺材質

不銹鋼

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

10mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻 液氮制冷

樣品臺溫度

室溫到 400℃ 室溫到-190℃

樣品臺測溫誤差

±0.2℃

樣品臺升溫速率

高溫20℃/min 最大值 低溫7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.2℃

溫度信號輸入類型

PT100 （可選K S B型熱電偶）

溫控輸出

直流線性電源加熱+液氮流速控制器