溫度傳感器在稱重衡器中的應(yīng)用 我們都知道現(xiàn)在的電子衡器之所以能比較精確的測(cè)量出重物的重量,就是由于其配備了壓力傳感器的作用。但是我們?cè)谑褂玫倪^(guò)程中往往遇到高溫或是低溫,這些都影響到了衡器的準(zhǔn)確度,因此就需要為衡器設(shè)計(jì)一個(gè)溫控系統(tǒng),說(shuō)簡(jiǎn)單點(diǎn)就是加裝一個(gè)溫度傳感器,溫度過(guò)低時(shí)就升溫,溫度過(guò)高時(shí)就降溫,從而保證衡器的準(zhǔn)確度。
在微電子器件領(lǐng)域,針對(duì)SiC器件的研究較多,已經(jīng)取得了較大進(jìn)展,而在MEMS領(lǐng)域針對(duì)SiC器件的研究仍有許多問(wèn)題亟待解決。在國(guó)內(nèi),SiC MEMS的研究非常少,因而進(jìn)行SiC高溫MEMS壓力傳感器的研究具有開(kāi)創(chuàng)意義。碳化硅(SiC)具有優(yōu)良的耐高溫,抗腐蝕,抗輻射性能,因而使用SiC來(lái)制作壓力傳感器,能夠克服Si器件高溫下電學(xué)、機(jī)械、化學(xué)性能下降的缺陷,穩(wěn)定工作于高溫環(huán)境,具有光明的應(yīng)用前景。
1 硬件系統(tǒng)用放置在腔體內(nèi)的溫度傳感器測(cè)量恒溫箱內(nèi)的溫度,產(chǎn)生的信號(hào)經(jīng)過(guò)放大后輸出反饋信號(hào),再用單片機(jī)進(jìn)行采樣,由液晶顯示恒溫箱內(nèi)的溫度,并通過(guò)溫度控制算法控制加熱裝置。所使用的單片機(jī)為STCl25408AD,自帶A/D轉(zhuǎn)換、EPROM功能,內(nèi)部集成MAX810專(zhuān)用復(fù)位電路(外部晶振20 MHz以下時(shí),可省外部復(fù)位電路),電子地磅價(jià)格,ISP(在系統(tǒng)可編程)/IAP(在應(yīng)用可編程),無(wú)需專(zhuān)用編程器可通過(guò)串口(P3.0/P3.1)直接下載用戶程序,數(shù)秒即可完成一片。硬件結(jié)構(gòu)框圖如下圖所示。
2 系統(tǒng)的控制模型電加熱裝置是一個(gè)具有自平衡能力的對(duì)象,可用一階慣性環(huán)節(jié)描述溫控對(duì)象的數(shù)學(xué)模型。G(S)=K/(t's+1) (1)式中:K為對(duì)象的靜增益;t’為對(duì)象的時(shí)間常數(shù)。目前工程上常用的方法是對(duì)過(guò)程對(duì)象施加階躍輸入信號(hào),測(cè)取過(guò)程對(duì)象的階躍響應(yīng),然后由階躍響應(yīng)曲線確定過(guò)程的近似傳遞函數(shù)。具體用科恩-庫(kù)恩(cohen-coon)公式確定近似傳遞函數(shù)。cohn-coon公式如下:k =△C/△M t’=1.5(t0.632-t0.28)式中:△M為系統(tǒng)階躍輸入,電子汽車(chē)衡;△C為系統(tǒng)的輸出響應(yīng);t0.28為對(duì)象上升曲線為O.28△C時(shí)的時(shí)間(單位:min);t0.632為對(duì)象上升曲線為O.632△C時(shí)的時(shí)間(單位:min);從而求得K=O.96,t’=747 s。所以恒溫箱模型為:G(S)=0.96/(747S+1) (2)。
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