熱式與差壓式氣體質(zhì)量流量計對比

作者： 2013年07月18日 來源： 瀏覽量：
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差壓式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(以下稱MFC/MFM)通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計算流量，這種測量方式具有固有的線性，重復(fù)性好，高精度，無需預(yù)熱，溫漂小等特點(diǎn)；可以同時測量4種參數(shù)
熱式與差壓式氣體質(zhì)量流量計對比

差壓式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計 (以下稱MFC/MFM)通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計算流量，這種測量方式具有固有的線性，重復(fù)性好，高精度，無需預(yù)熱，溫漂小等特點(diǎn)；可以同時測量4種參數(shù)：氣體的瞬時流量、累計流量、溫度和絕壓，并且可以同時顯示和輸出。雖然傳統(tǒng)的熱式原理不需經(jīng)過溫壓補(bǔ)償即可以直接測量氣體的質(zhì)量流量，但是熱式原理產(chǎn)品具有先天性的缺陷：長期加熱的工作模式產(chǎn)生的熱漂移，反應(yīng)速度慢等缺點(diǎn)是不可避免的。而采用差壓原理的 氣體質(zhì)量流量控制器/流量計 幾乎無零點(diǎn)和溫度漂移，反應(yīng)速度快，無需預(yù)熱，上電即可操作，解決了長期困擾客戶的問題。目前，一些領(lǐng)先的熱式流量計廠家正在紛紛開發(fā)差壓式質(zhì)量流量計。

ALICAT差壓原理和熱式原理的對照表

 

指 標(biāo) Alicat層流差壓式原理 典型熱式原理
傳感器 固態(tài)硅基差壓傳感器 RTD或熱電偶
流量范圍 滿量程從0.5SCCM到1500SLPM 滿量程從3SCCM到1000SLPM
響應(yīng)時間 10毫秒(控制器100 毫秒) 0.3-3.0秒
顯示屏 標(biāo)準(zhǔn)，內(nèi)置 可選項(xiàng)，外部裝配
預(yù)熱時間 ＜1秒 8-30分鐘
累計流量 可選項(xiàng)，內(nèi)置 可選項(xiàng)，外部裝配
過程數(shù)據(jù) 內(nèi)置顯示屏顯示質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度和在線絕對壓力 質(zhì)量流量
輸出選項(xiàng) 標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)置顯示屏，模擬信號(0-5VDC,0-10VDC,1-5VDC或4-20mA)和標(biāo)準(zhǔn)RS232接口；
可采用第二路模擬輸出體積流量、溫度或絕對壓力
標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出，可選顯示屏，可選數(shù)字輸出
數(shù)字輸出 標(biāo)準(zhǔn)輸出包括質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度、在線絕對壓力、測量氣體；可選累計流量；標(biāo)準(zhǔn)Multi-drop RS232接口 可選質(zhì)量流量數(shù)字輸出；無Multi-drop選項(xiàng)
供應(yīng)電源 7-30VDC,35mA的標(biāo)準(zhǔn)AC/DC轉(zhuǎn)換電源；
可使用一個標(biāo)準(zhǔn)的9V電池包供電
特殊供應(yīng)電源，正和負(fù)的穩(wěn)定15VDC
過程連接 標(biāo)準(zhǔn)的NPT或小巧的氣動配件，可選SAE,BSPP等接頭 特制Swagelok?、VCR等
多種氣體測量性 可從內(nèi)置菜單選擇30種標(biāo)準(zhǔn)氣體 單一氣體，需指定
固有線性 有 無
文件 內(nèi)置顯示屏顯示型號數(shù)、連續(xù)號數(shù)、制造日期、校驗(yàn)技術(shù)員和軟件版本、型號/連續(xù)號，簽條也同樣為標(biāo)準(zhǔn)的 產(chǎn)品的貼紙上

 
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標(biāo)簽：差壓式 氣體質(zhì)量流量計

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