真空泵選型注意事項(xiàng)

作者： 2013年07月18日 來(lái)源： 瀏覽量：
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1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)請(qǐng)求。如：真空鍍膜請(qǐng)求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量
真空泵選型注意事項(xiàng)

 

1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)請(qǐng)求。如：真空鍍膜請(qǐng)求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。

2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因此，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHg下長(zhǎng)期工作。又如鈦升華泵能夠在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好。

3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。

4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因此，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣請(qǐng)求，需求幾種泵組合起來(lái)，相互補(bǔ)充才干滿足抽氣請(qǐng)求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空安裝得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需求預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需求前級(jí)泵，故都需求把泵組合起來(lái)運(yùn)用。

5、真空設(shè)備對(duì)油污染的請(qǐng)求。若設(shè)備嚴(yán)厲請(qǐng)求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。假如請(qǐng)求不嚴(yán)厲，能夠選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能到達(dá)清潔真空請(qǐng)求。

6、理解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆粒灰塵，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需求曉得氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。假如氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該思索在泵的進(jìn)氣口管路上裝置輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。

7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。假如環(huán)境不允許有污染，能夠選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

9、真空泵的價(jià)錢(qián)、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。
 
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