X-Ray鍍層測(cè)厚儀原理
X 射線熒光光譜儀工作的基本原理:X射線光管發(fā)出的初級(jí)X射線激發(fā)試樣中的原子,測(cè)定由此產(chǎn)生的X射線的熒光的能量強(qiáng)度,根據(jù)元素特征X熒光光譜線的能量強(qiáng)度進(jìn)行元素的定性和定量分析。
X 射線熒光測(cè)厚儀是從得到的熒光X射線的強(qiáng)度來(lái)求得單位面積的元素附著量,再除以元素的密度來(lái)得出其厚度。
探測(cè)器:檢測(cè)熒光X射線,記錄強(qiáng)度
目前市面上應(yīng)用最廣泛的三種探測(cè)器有PC探測(cè)器、Si-Pin探測(cè)器,SDD探測(cè)器
德國(guó)布魯克 M1 MISTRAL、M2 BLIZZARD鍍層測(cè)厚儀采用目前先進(jìn)的SDD探測(cè)器:
* 分辨率高;
* 噪音低,信噪比高,能測(cè)量更薄的鍍層;
* 多層鍍層測(cè)量的結(jié)果更優(yōu);
* SDD探測(cè)器為布魯克全自主研發(fā)生產(chǎn),品質(zhì)好,性?xún)r(jià)比極高。
以下為傳統(tǒng)PC探測(cè)器與SDD探測(cè)器的比較:
1、分辨率對(duì)比:
分辨率指的是波譜峰值一半時(shí)的寬度,簡(jiǎn)稱(chēng)半波寬。
以上應(yīng)用
* Au 接觸層
* Ni 中間層
* Cu 襯底
* 襯底為PCB
紅色譜線為PC探測(cè)器測(cè)量結(jié)果,綠色譜線為SDD探測(cè)器測(cè)量結(jié)果,其它測(cè)量條件完全相同;
可明顯看出:
Br的信號(hào)非常強(qiáng)(PCB中含有Br元素)
PCB上Au的鍍層為0.5μm,鍍層較薄,光譜峰較低,用PC探測(cè)器測(cè)量時(shí),Au的譜線完全被Cu的譜線掩蓋,重疊的譜線把分析變得復(fù)雜,大大影響分析的準(zhǔn)確性;
而用SDD探測(cè)器,分辨率高,各種元素的光譜線非常清晰,提高分析的準(zhǔn)確性。
SDD的分辨率比PC探測(cè)器高很多 (SDD: <150 eV vs. PC: >800 eV )
2、SDD探測(cè)器可以測(cè)量更薄的鍍層:
所有的X-Ray儀器都會(huì)受到背景光譜的影響。
上圖橫線是30S內(nèi)相對(duì)偏差低于5%的不同金屬的可測(cè)鍍層厚度(單層鍍層);紅色為PC探測(cè)器,藍(lán)色為SDD探測(cè)器;
由于SDD探測(cè)器噪音低,信噪比高, 因而能擴(kuò)大測(cè)量范圍,Au的可測(cè)范圍可低至1nm。
所以,想要測(cè)量結(jié)果更準(zhǔn)確?選擇SDD!
* 正比例計(jì)數(shù)器不適用于多層鍍膜的復(fù)雜測(cè)量(除非在測(cè)多層鍍膜時(shí)使用可調(diào)濾波器);
* 顯著提高的光譜分辨率,后期的數(shù)據(jù)處理更穩(wěn)定;
* 可測(cè)量更薄的的鍍層;
* 做元素成分分析時(shí)檢出線低,可測(cè)量含量更低的元素。
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