MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化項目入選《中國制造2025》2017重大標志性項目

作者： 2017年03月13日 來源：中國儀表網(wǎng) 瀏覽量：
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近日，國家工業(yè)和信息化部下發(fā)意見函，中國工程院組織遴選的MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化等16個項目，擬作為《中國制造2025》2017年重大標志性項目。其中，由清華大學與淄博高新區(qū)合作建設的MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化項目位列其中，這是
近日，國家工業(yè)和信息化部下發(fā)意見函，中國工程院組織遴選的MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化等16個項目，擬作為《中國制造2025》2017年重大標志性項目。其中，由清華大學與淄博高新區(qū)合作建設的MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化項目位列其中，這是山東省唯一入選的項目。
　　


　　MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化項目是國高(淄博)微系統(tǒng)科技有限公司、淄博高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)MEMS研究院等單位共同建立的國內(nèi)一流的MEMS代工線。MEMS代工線是國內(nèi)首家專業(yè)化的中試代工平臺，也是山東省第一家批量生產(chǎn)微型傳感器的專業(yè)化平臺。MEMS技術是特征尺度跨越微米和納米兩個鄰接微小領域的高新技術，也是信息化、智能化的關鍵核心技術，MEMS傳感器技術具有微型化、低成本、低功耗、高可靠、高性能等諸多優(yōu)勢，是當今世界制造業(yè)的趨勢和熱點。
　　
　　據(jù)MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化項目負責人介紹，國高(淄博)微系統(tǒng)公司擁有先進的代工模式，從自主知識產(chǎn)權、生產(chǎn)控制等方面全方位入手，以智能制造設備應用、裝置自動化方案為基礎，在實現(xiàn)各項生產(chǎn)經(jīng)營管理工作信息化的同時，有效打通了企業(yè)智能制造的數(shù)據(jù)通道。
　　
　　MEMS孵化器已建成10萬平方米，形成穩(wěn)定的45個單項工藝和17個產(chǎn)品工藝流程。國家高新區(qū)MEMS研究院成立了國內(nèi)MEMS領域15名頂尖專家組成的專家委員會，負責高精度陀螺儀、MEMS繼電器和加速度計等器件研發(fā)，引領平臺的發(fā)展方向及工藝評審。去年9月份，清華大學、同方股份、淄博高新區(qū)三方達成戰(zhàn)略合作協(xié)議，研究院建設、平臺發(fā)展、基金設立、項目落地、產(chǎn)業(yè)園區(qū)建設等協(xié)議內(nèi)容的各項工作正在快速推進。高新區(qū)將在現(xiàn)有加工設備條件和環(huán)境下，開展MEMS制造技術封裝與裝配過程中關鍵技術的研究和開發(fā)，真正解決其關鍵技術形成核心發(fā)明專利，為進一步的產(chǎn)業(yè)化奠定良好的知識產(chǎn)權基礎。
　　
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