寧波材料所科研裝備研制項目通過驗收

　　6月30日，中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所承擔(dān)的2項中國科學(xué)院科研裝備研制項目——“納米磁-電-熱多參量耦合原位表征系統(tǒng)”和“高離化率磁控濺射復(fù)合受控陰極電弧鍍膜裝置”順利通過了中國科學(xué)院條件保障與財務(wù)局組織的驗收。條財局副局長曹凝等出席了驗收會。

　　上午，2組測試專家組分別聽取了各項目組測試說明，審議和確認(rèn)了測試大綱，根據(jù)實施方案規(guī)定的要求從研制裝備的運行、使用情況、技術(shù)測試實驗結(jié)果等角度對各項技術(shù)指標(biāo)逐一進行現(xiàn)場測試，形成技術(shù)測試報告。

　　下午，驗收專家組聽取了2個項目組工作報告、財務(wù)報告、使用報告和測試專家組的測試報告，現(xiàn)場查看了裝備的運行情況，查閱了文件檔案及相關(guān)財務(wù)賬目。驗收專家組認(rèn)為，項目承擔(dān)單位完成了實施方案規(guī)定的研制任務(wù)，達到了研制目標(biāo)，同意2個項目通過驗收。

　　“納米磁-電-熱多參量耦合原位表征系統(tǒng)”項目研制了一套具有核心專利技術(shù)的新型納米磁-電-熱多參量耦合原位表征系統(tǒng)。該裝備由掃描探針顯微鏡工作平臺、磁-電-熱多參量耦合信號獲取探針、多參量信號分離系統(tǒng)、多物理場外場施加模塊、多參量聯(lián)用控制軟件等組成。通過項目的研制獲得了磁學(xué)、電學(xué)和熱學(xué)同步實時原位探測功能模塊，可同時原位探測磁學(xué)、電學(xué)和熱學(xué)參數(shù)，實現(xiàn)了磁-電、磁-熱、電-熱同步實時原位探測功能的多參量耦合聯(lián)用功能。課題組使用該系統(tǒng)開展了BiFeO3-CoFe2O4自組裝納米復(fù)合薄膜材料中電場原位調(diào)控磁性的研究，為新型低功耗高密度存儲器件的研究奠定了實驗基礎(chǔ)。

　　“高離化率磁控濺射(HIPIMS)復(fù)合受控陰極電弧鍍膜裝置”項目通過對高功率磁控管模塊、受控陰極電弧源模塊、HIPIMS電源、關(guān)鍵子系統(tǒng)、PLC控制等的設(shè)計優(yōu)化和適配加工，研制出了一套具有核心專利技術(shù)的高功率脈沖磁控濺射復(fù)合受控陰極電弧鍍膜裝置，該裝備具有離化率高、放電穩(wěn)定、繞射性好、大面積均勻、運行可靠的特點。利用該裝置，不僅實現(xiàn)了以TiAlSiN與DLC為主的兩類目標(biāo)硬質(zhì)涂層材料高質(zhì)量制備；且光譜與探針原位診斷表明，HIPIMS技術(shù)實現(xiàn)了金屬Ti的離化率達80%，等離子體密度達1019/m3。另外，該裝置具有良好功能拓展性，能實現(xiàn)CrB2超硬涂層和高純MAX相防護涂層的設(shè)計與制備。

　　寧波材料所副所長瞿榮輝等一同參加了驗收會。

驗收會現(xiàn)場 

“納米磁-電-熱多參量耦合原位表征系統(tǒng)”項目測試現(xiàn)場 

“高離化率磁控濺射(HIPIMS)復(fù)合受控陰極電弧鍍膜裝置”項目測試現(xiàn)場