國內(nèi)首套硅基MEMS中試代工平臺建立

　　山東淄博成立國內(nèi)首套“硅基MEMS中試代工平臺”，未來將廣泛應(yīng)用于加速度計、陀螺儀、光學(xué)MEMS、圖像傳感器等領(lǐng)域。
　　
 　　日前，由清華大學(xué)、淄博高新區(qū)MEMS研究院和國高（淄博）微系統(tǒng)科技有限公司共同完成的國內(nèi)首套“硅基MEMS中試代工平臺”成果鑒定會在國高（淄博）微系統(tǒng)科技有限公司舉行。鑒定委員會認(rèn)為，該平臺達(dá)到國際先進水平，一致同意通過鑒定。
　　
　　據(jù)了解，MEMS（微機電系統(tǒng)）是目前世界制造業(yè)的熱點，MEMS以其微型化的優(yōu)勢，在加速度計、陀螺儀、光學(xué)MEMS、圖像傳感器等領(lǐng)域都有相關(guān)應(yīng)用，在軍事領(lǐng)域和以汽車、電子、家電等為代表的民用行業(yè)有著極為廣闊的應(yīng)用前景。MEMS將成為未來的主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)之一，引發(fā)一場新的產(chǎn)業(yè)革命。
　　
　　目前，國內(nèi)具備MEMS器件研發(fā)能力的工藝平臺主要集中在院校和研究所，相對封閉和規(guī)模小，一般只是在研發(fā)平臺上進行MEMS器件的初步開發(fā)，投入、創(chuàng)新、產(chǎn)量有限。面向軍工級和宇航級應(yīng)用的MEMS陀螺國外對中國采取嚴(yán)格的技術(shù)封鎖政策，而國內(nèi)需求巨大。高新區(qū)管委會與清華大學(xué)機械工程學(xué)院共建硅基MEMS（微機電系統(tǒng)）中試代工平臺,，實行企業(yè)化運營。清華大學(xué)以尤政教授為代表的團隊，已研制出微加速度傳感器、微型陀螺儀、集成MIMU、微型泵及微流量控制系統(tǒng)、微型傳感器記錄儀、微光學(xué)器件和系統(tǒng)等，同時在基于微米納米技術(shù)的微型航天器與微型飛行器的新概念微型武器研究方面取得突破性進展。
　　
　　硅基MEMS中試代工平臺，符合國家、省市產(chǎn)業(yè)政策和支持方向。平臺的搭建將帶動淄博電子信息產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)跳躍發(fā)展，對促進淄博市產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整、提升IC產(chǎn)業(yè)競爭力、培育重大增長極起到有力的推動作用。高新區(qū)將加快MEMS產(chǎn)業(yè)建設(shè)，力爭在年底前完成平臺車間廠房、專家公寓、生活服務(wù)等基礎(chǔ)設(shè)施，為入駐企業(yè)、客戶提供一流的服務(wù)。