螺桿型干式真空泵參數(shù)化設(shè)計(jì)軟件的開發(fā)

英文題名】 The Development of Parameter Design about Dry Screw Vacuum Pump
【作者中文名】 王鑫;
【導(dǎo)師】 徐成海;
【學(xué)位授予單位】 東北大學(xué);
【學(xué)科專業(yè)名稱】 流體機(jī)械及工程
【學(xué)位年度】 2006
【論文級(jí)別】 碩士
【網(wǎng)絡(luò)出版投稿人】 東北大學(xué)
【網(wǎng)絡(luò)出版投稿時(shí)間】 2006-10-25
【關(guān)鍵詞】 螺桿型干式真空泵; Solidworks; 參數(shù)化設(shè)計(jì);
【英文關(guān)鍵詞】 dry screw vacuum pump; Solidworks; the parameter design;
【中文摘要】 近年來在半導(dǎo)體工業(yè)和液晶顯示器制造工藝中，對(duì)清潔真空環(huán)境的要求越來越高，而傳統(tǒng)的有油真空泵已經(jīng)達(dá)不到這樣的要求了。螺桿型干式真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點(diǎn)，得到越來越多制造和應(yīng)用單位的重視，在干式真空泵市場中占有重要的地位。在歐美和日本等發(fā)達(dá)國家，螺桿型干式真空泵在很多領(lǐng)域已經(jīng)越來越多的代替了傳統(tǒng)的有油泵。但由于螺桿泵加工難度大，我國使用的螺桿泵主要依靠進(jìn)口，價(jià)格非常昂貴。為改變這種狀況，實(shí)現(xiàn)螺桿型干式真空泵的國產(chǎn)化，本文采用參數(shù)化設(shè)計(jì)方法，旨在簡化螺桿型無油真空泵的設(shè)計(jì)和加工過程，使其早日在中國實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，為新興工業(yè)的發(fā)展提供清潔的真空環(huán)境。 本文首先討論了目前常用的螺桿型干式真空泵轉(zhuǎn)子類型，給出了幾種型線方程，分析了幾種型線適用條件；接下來討論了螺桿泵的泵體結(jié)構(gòu)形式及軸上各零件的選擇標(biāo)準(zhǔn)，給出了幾種常用的泵體結(jié)構(gòu)和軸類零件供選擇。 在開發(fā)工具的選擇方面，本文首先討論了目前進(jìn)行二次開發(fā)比較流行的開發(fā)平臺(tái)和開發(fā)語言，比較了幾種軟件的優(yōu)缺點(diǎn)，最后確定采用VB語言在Solidworks開發(fā)平臺(tái)上進(jìn)行參數(shù)化設(shè)計(jì)。 ...
【英文摘要】 Recently, in the semiconductor manufacture process, it has high demand of vacuum environment cleanliness. The conventional oil vacuum pump can t meet the condition. Therefore, with wide bound pumping speed, simple structure, friction-free rotor, long life, low energy consumption and oil-free, the dry screw vacuum pump is recognized by more and more companies, it has a important station in the field of oil-free vacuum pump. In many developed countries, such as America, Japan, conventional oil vacuum pump has...
【DOI】 cnki:CDMD:10145.2.2006.5110