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光學(xué)微電子凈化工程
光學(xué)微電子凈化工程-潔凈車間技術(shù)解決方案(2015-01-27)
光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)…[詳情]
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