投影光刻機(jī) 光刻機(jī) 芯片光刻機(jī) 元器件光刻機(jī) 光刻膠測(cè)試的簡(jiǎn)單介紹

投影光刻機(jī) 光刻機(jī) 芯片光刻機(jī) 元器件光刻機(jī) 光刻膠測(cè)試的詳細(xì)信息

HWGK0133X-18紫外線光刻箱，配備電子電源，無(wú)級(jí)調(diào)光，主要用于光刻膠測(cè)試，中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和小批量生產(chǎn)測(cè)試。無(wú)紫外線泄露，保護(hù)人體不受紫外線傷害的UV光刻箱，自動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤，全方位多角度平行光照射，無(wú)照射盲區(qū)。

設(shè)備組成

UV光源+光刻箱+自動(dòng)轉(zhuǎn)盤+電源控制器

采用模塊型設(shè)計(jì)

采用模塊型設(shè)計(jì)，可手持、固定、箱式使用。

UV燈頭

包含一個(gè)長(zhǎng)壽命的高壓汞燈，發(fā)射出UVA（300-400nm），主光強(qiáng)度分布均勻。燈泡壽命為1000小時(shí)。

UV光刻箱

設(shè)備包含光刻箱，帶有箱門，開關(guān)方便，在元件的光刻過(guò)程中，能夠保護(hù)用戶免受紫外輻射。

內(nèi)置遮光型手動(dòng)快門（工作時(shí)無(wú)紫外線泄露）
設(shè)備集成可伸縮遮光型手動(dòng)快門，確保光刻的優(yōu)良重復(fù)性，保護(hù)用戶開關(guān)光刻箱門時(shí)免受紫外輻射。

可調(diào)速自動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤

設(shè)備集成可調(diào)速自動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤，光刻效果更好,更徹底。

無(wú)級(jí)變光(光強(qiáng)可調(diào)）

燈管發(fā)光強(qiáng)度可以40%~100%，無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)燈光強(qiáng)度，特別適合科研和工業(yè)生產(chǎn)。

反光內(nèi)壁

光刻箱內(nèi)有反光的內(nèi)壁結(jié)構(gòu)以及優(yōu)化設(shè)計(jì)的反光鏡，達(dá)到均勻照射效果。

強(qiáng)制風(fēng)冷系統(tǒng)

光源、電源、光刻箱都集成冷卻風(fēng)扇，使得系統(tǒng)在散熱良好的環(huán)境工作，增加了系統(tǒng)可靠性。

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