目前存在多種有機(jī)廢氣的處理工藝，如：冷凝法、吸收法、燃燒法、催化法、吸附法、生物法和等離子法等。

冷凝法是根據(jù)氣態(tài)污染物在不同的壓力和不同的溫度下具有不同的飽和蒸氣壓，可通過(guò)降低溫度和加大壓力使某些氣態(tài)污染物凝結(jié)成液體，達(dá)到凈化、回收的目的。冷凝法運(yùn)行費(fèi)用較高，適用于高濃度和高沸點(diǎn)VOCs的回收，對(duì)于低濃度有機(jī)廢氣此法不適用；單純的冷凝法往往不能達(dá)到規(guī)定的分離要求，故此方法常作為吸附、燃燒等凈化高濃度廢氣的預(yù)處理過(guò)程。

吸收法可分為化學(xué)吸收和物理吸收，大部分有機(jī)廢氣不宜采用化學(xué)吸收。物理吸收的吸收劑應(yīng)具有與吸收組分有較高的親和力，低揮發(fā)性，同時(shí)還應(yīng)具有較小的揮發(fā)性，吸收液飽和后經(jīng)解析或精餾后重新使用。本法適合于中高濃度的廢氣，但要選擇一種廉價(jià)高效的低揮發(fā)性吸收液比較困難，需要同時(shí)考慮的因素包括溶解度、選擇性、揮發(fā)性、粘度、燃點(diǎn)、再生性及毒性等等，同時(shí)二次污染問(wèn)題較難解決，凈化效果不理想，也常作為廢氣治理過(guò)程中的預(yù)處理過(guò)程，同時(shí)可起到冷卻降溫、預(yù)除塵的作用。

燃燒法亦稱(chēng)為熱氧化法、熱力燃燒法，主要用于高濃度VOCs廢氣的凈化。對(duì)于自身不能燃燒的中低濃度尾氣，通常需助燃劑或加熱，能耗大，運(yùn)行成本比催化燃燒法高10倍以上；運(yùn)行技術(shù)要求高，不易控制與掌握。此法在國(guó)內(nèi)基本上未獲推廣，僅有少數(shù)廠(chǎng)家引進(jìn)國(guó)外治理設(shè)備應(yīng)用于較高濃度和溫度的制罐印鐵業(yè)廢氣治理中，但終因能耗大及運(yùn)行不穩(wěn)定，難以正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

催化法的優(yōu)點(diǎn)是催化燃燒為無(wú)焰燃燒，安全性好，本法的特點(diǎn)：起燃溫度低，節(jié)約能源；凈化率高，無(wú)二次污染；工藝簡(jiǎn)單，操作方便，安全性好；裝置體積小，占地面積少；設(shè)備的維修與折舊費(fèi)較低。該法適用于高溫、中高濃度的有機(jī)廢氣治理，國(guó)內(nèi)外已有廣泛使用的經(jīng)驗(yàn)，效果良好。

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吸附法有一次性吸附、吸附-回收、吸附-催化燃燒等多種類(lèi)型?；钚蕴课饺コ矢撸淮涡曰钚蕴糠ㄒ蠼?jīng)常更換活性炭以保證凈化效果，導(dǎo)致裝卸、運(yùn)輸?shù)冗^(guò)程中造成二次污染。吸附-回收法適用于對(duì)中、高濃度，中、小風(fēng)量，有回收價(jià)值的廢氣進(jìn)行治理，但若有機(jī)氣體成份復(fù)雜，回收后不能直接用于生產(chǎn)，需要再進(jìn)行精餾、萃取、分離等后繼工作，不但造成二次污染，而且大大增加了治理成本。

生物法是基于成熟的生物處理污水技術(shù)上發(fā)展起來(lái)，具有能耗低、運(yùn)行費(fèi)用低的特點(diǎn)，在國(guó)外有一定規(guī)模的應(yīng)用。其缺點(diǎn)在于污染物在傳質(zhì)和消解過(guò)程中需要有足夠的停留時(shí)間，從而增大了設(shè)備的占地，同時(shí)由于微生物具有一定的耐沖擊負(fù)荷限值，增加了整個(gè)處理系統(tǒng)在啟停時(shí)的控制以及運(yùn)行負(fù)荷。該法目前在國(guó)內(nèi)污水站廢氣治理中有少量應(yīng)用，對(duì)工業(yè)廢氣異味治理的應(yīng)用很少。

利用等離子Plasma（ULAND等離子體）降解有機(jī)廢氣和、祛除惡臭、殺滅細(xì)菌、病毒、凈化空氣是國(guó)際上比較尖端的高新技術(shù)，國(guó)內(nèi)外專(zhuān)家稱(chēng)之為21世紀(jì)環(huán)境科學(xué)四大技術(shù)之一。該技術(shù)的關(guān)鍵是通過(guò)高壓脈沖介質(zhì)阻擋放電的形式產(chǎn)生大量活性等離子體（等離子體），將氣體激活，產(chǎn)生各種活性自由基，如·OH、·HO2、·O等，對(duì)苯、甲苯、二甲苯、氨氣、烷烴類(lèi)等有機(jī)廢氣發(fā)生降解、氧化等復(fù)雜的物理和化學(xué)反應(yīng)，且副產(chǎn)物無(wú)毒，避免二次污染。該技術(shù)具有能耗極低，占地空間小，運(yùn)行維護(hù)簡(jiǎn)單等特點(diǎn)，特別是適用于多種組分有機(jī)氣體的處理。