高性能半導(dǎo)體用球閥產(chǎn)品概述:
HGU高性能半導(dǎo)體用球閥是溫州先鋒閥門有限公司最新研制的高真空球閥產(chǎn)品(已申請國家專利),閥體內(nèi)腔采用弧面全包球設(shè)計(jì),保證了體腔無死角,能消除球體和閥體之間的縫隙,減小氣體聚集,它鉆孔的球形端口可以徹底排空氣體,能最大限度地提高電導(dǎo)性直通、無阻礙的流動。閥體、球閥和端蓋由實(shí)心材料加工而成,其全端口尺寸和整體長度最短化使閥門和加熱部件之間的熱傳遞最大化。還可以配置為加熱和隔熱的結(jié)構(gòu)來保證閥門內(nèi)部的溫度穩(wěn)定性。
這種閥門在真空管路系統(tǒng)中表現(xiàn)得非常出色,保持清潔的動態(tài)密封以防止故障時(shí)對系統(tǒng)的污染。HGU球閥是一種極其可靠的高真空閥,可用于在最具挑戰(zhàn)性的環(huán)境中。
高性能半導(dǎo)體用球閥使用條件:
額定真空度:1×10-8 Torr,
氦氣泄漏額定值小于1×10-9 std.cc/sec
材料:304、304L、316 L,
閥座材料:PTFE,
使用溫度:-26℃~150℃,
尺寸范圍:DN63~100,
連接方式:GB4892/ISO-KF,GB6070/ISO-F
驅(qū)動方式:手動、氣動、電動
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