在自然界中,當物體的溫度高于絕對零度時,由于它內部熱運動的存在,就會不斷地向四周輻射電磁波,其中就包含了波段位于0.75~100μm 的紅外線,紅外溫度傳感器就是利用這一原理制作而成的。
溫度是度量物體冷熱程度的一個物理量,是工業(yè)生產中很普遍、很重要的一個熱工參數,許多生產工藝過程均要求對溫度進行監(jiān)視和控制,特別是在化工、食品等行業(yè)生產過程中,溫度的測量和控制直接影響到產品的質量和性能。
而紅外熱電堆傳感器是由熱電偶構成的一種器件,其直接感應紅外輻射,并通過塞貝克效應將紅外輻射導致的溫度變化轉換為電壓信號輸出。
熱傳感器是利用輻射熱效應,使探測器件接收輻射能后引起溫度升高,進而使傳感器中一欄與溫度的性能發(fā)生變化。檢測其中某一性能的變化,便可探測出輻射。
和其它類型紅外傳感器相比,紅外熱電堆傳感器可以在動態(tài)、靜態(tài)環(huán)境下工作,封裝后受測試環(huán)境影響小,不需要額外的補償算法處理,無需偏置且后續(xù)電路簡單等優(yōu)點。
傳統紅外熱電堆傳感器芯片由于制造工藝復雜、不適合批量制造,使得發(fā)展一直非常緩慢。隨著近年來MEMS加工技術的快速發(fā)展與進步,基于MEMS技術的紅外熱電堆傳感器芯片也獲得了飛速發(fā)展。紅外熱電堆傳感器一般采用硅基微加工工藝制造,其產業(yè)鏈包括芯片設計、制造、封測、系統集成和終端應用等。
與傳統的紅外熱電堆傳感器相比,基于MEMS技術的紅外熱電堆傳感器具有尺寸小、重量輕、噪聲小、成本低、使用方便等優(yōu)點,因此MEMS紅外熱電堆傳感器在性能與成本方面能夠較好的兼顧民用消費領域的需求,在健康醫(yī)療、安防監(jiān)控、智能家居、消費電子、工業(yè)控制等領域得到了廣泛的應用。
2020年初,受突發(fā)疫情影響,非接觸式紅外體溫監(jiān)測儀器作為疫情防控初步篩檢手段,市場需求快速增長。國內以額溫槍為主的非接觸式測溫設備市場需求大增,紅外熱電堆傳感器作為關鍵部件需求同步上升,熱電堆傳感器上半年呈量價齊升態(tài)勢。受疫情期間紅外熱電堆產品的廣泛普及影響,其眾多優(yōu)點得到市場的廣泛認同,未來在眾多新興領域將得到廣泛應用。
根據中金企信統計數據,全球市場熱電堆紅外傳感器消費量持續(xù)增長,2020年受疫情影響,全球消費量達到3.22億只,加速了紅外熱電堆技術的普及,2015-2026年的復合增長率達到11.08%。
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