壓力傳感器攻克“卡脖子”技術(shù)儀表產(chǎn)業(yè)

　　當(dāng)前，我國(guó)科技事業(yè)實(shí)現(xiàn)了歷史性、整體性、格局性重大變化，重大創(chuàng)新成果競(jìng)相涌現(xiàn)，一些前沿方向開(kāi)始進(jìn)入并行、領(lǐng)跑階段。但也應(yīng)看到，我國(guó)科技領(lǐng)域仍然存在一些亟待解決的問(wèn)題，關(guān)鍵核心技術(shù)受制于人的局面沒(méi)有得到根本性改變，亟待集中力量奮力攻關(guān)。

　　壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中較為常用的一種傳感器，一般普通壓力傳感器的輸出為模擬信號(hào)，模擬信號(hào)是指信息參數(shù)在給定范圍內(nèi)表現(xiàn)為連續(xù)的信號(hào)。玩夠哦要加速形成從傳感器研究開(kāi)發(fā)到大生產(chǎn)一條龍的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展模式，走自主創(chuàng)新和國(guó)際合作相結(jié)合的跨越式發(fā)展道路，使我國(guó)成為世界傳感器的生產(chǎn)大國(guó)。攻克“卡脖子”技術(shù)較為重要。

　　近日，中南大學(xué)和中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所聯(lián)合承擔(dān)的長(zhǎng)沙市重大專項(xiàng)航空發(fā)動(dòng)機(jī)用高性能壓力傳感器的開(kāi)發(fā)及應(yīng)用項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收，此舉意味著該項(xiàng)“卡脖子”關(guān)鍵技術(shù)得以攻克。

　　該項(xiàng)目于2018年立項(xiàng)，依托中電四十八所和中南大學(xué)，著力開(kāi)展高性能壓力傳感器的研究與開(kāi)發(fā)，打破國(guó)外公司封鎖。經(jīng)過(guò)三年的科技攻關(guān)，項(xiàng)目組攻克了敏感電阻精準(zhǔn)摻雜、SOI壓敏芯片制造、無(wú)引線壓力傳感器封裝等關(guān)鍵工藝和技術(shù)。

　　其研制出的高性能SOI壓力傳感器器件，在某型號(hào)航空發(fā)動(dòng)機(jī)上進(jìn)行了應(yīng)用驗(yàn)證，性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，打破了國(guó)外高端壓力傳感器的封鎖，解決了耐高溫壓力傳感器的“卡脖子”技術(shù)問(wèn)題，為更高溫度壓力傳感器的研制奠定重要的理論和技術(shù)基礎(chǔ)。