MICHELL針對半導(dǎo)體和高純氣領(lǐng)域濕度異動的解決方案

MICHELL針對半導(dǎo)體和高純氣領(lǐng)域濕度異動的解決方案

密析爾儀表公司很高興宣布推出自己的微量水分異動傳感器-Pura Plus。 Pura Plus 是一款在線的微量水分異動傳感器，專為半導(dǎo)體晶圓廠的高純惰性氣體而設(shè)計； 適合多點安裝在氣路進入制程工具前的Z末端。 Pura Plus 安裝的管網(wǎng)上，可以快速的（小于一分鐘）偵測出在1 ppb 基準(zhǔn)上低至20ppb 的濕度異動。

為了同時保證達到高靈敏度和快速反應(yīng)的要求，密析爾創(chuàng)造了一種獨特的偵測算法，并輔以全新的適合高純氣的陶瓷傳感器設(shè)計。除此以外，Pura Plus 還可以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的特殊的包裝要求，Pura Plus達到了材質(zhì)和表面處理的Z高標(biāo)準(zhǔn)， 整個裝配和包裝都是在100 級的潔凈室完成。在包裝前，密析爾還要在10-9 bar / 秒的條件下對Pura Plus進行密封性測試，以達到在兩年內(nèi)免維護和正常工作的設(shè)計要求。信號通過MODBUS輸出，以LED交通燈的形式顯示警告和報警狀態(tài)。將來還將具有4-20mA輸出。

這款新的傳感器是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)在尺寸和規(guī)格方面需求的相應(yīng)。晶圓廠不斷地在推動技術(shù)以達到在元件尺寸和封裝上的要求。新的更大尺寸的晶圓具有更昂貴的單位價值，使得晶圓廠不斷提高產(chǎn)出，減少由于污染而導(dǎo)致的殘品率。當(dāng)前規(guī)定大宗散裝惰性氣（N2，Ar）的潮氣污染水平要小于10 ppb， 而趨勢是要降低至1ppb以下。

通常，在大宗散裝氣體進入FAB前的Z末端，通過安裝大型而復(fù)雜的儀器來監(jiān)測濕度污染，存在著價格昂貴而且反應(yīng)速度慢的問題， 而大宗氣體的濕度污染是不常發(fā)生的； 與此相反，在FAB的內(nèi)部，由許多的分管，節(jié)點，和使用點而構(gòu)成的管網(wǎng)，即傳統(tǒng)的濕度監(jiān)測點的下游，潮氣進入?yún)s是經(jīng)常發(fā)生的，造成的原因可能是微小的泄漏，系統(tǒng)設(shè)計缺陷，元件損壞，或者流程上的失敗。Pura Plus 的小巧尺寸和創(chuàng)新概念使得在多個使用點的安裝成為可行，成為保護晶圓制造流程的一個投入少，見效快的手段。

英國MICHELL擁有冷鏡式、陶瓷氧化鋁等濕度傳感器。英國密析爾（MICHELL）儀表為Z大的濕度露點儀表生產(chǎn)廠家，在歐洲濕度檢測領(lǐng)域有過半的市場份額，擁有超過35年的專業(yè)技術(shù)，開發(fā)一整套變送器、露點儀、校驗系統(tǒng)等產(chǎn)品，歐盟/美國國家標(biāo)準(zhǔn)實驗室全都是使用MICHELL產(chǎn)品作為標(biāo)準(zhǔn)儀器。