長春光機所承擔的國家重大科研儀器設(shè)備研制專項通過驗收

作者： 2020年09月08日 來源：全球化工設(shè)備網(wǎng) 瀏覽量：
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2020年8月24-25日，國家自然科學基金委員會信息學部在長春組織專家對國家自然科學基金國家重大科研儀器設(shè)備研制專項“1.5米掃描干涉場曝光系統(tǒng)”進行了項目驗收?！　h成立了由
　　2020年8月24-25日，國家自然科學基金委員會信息學部在長春組織專家對國家自然科學基金國家重大科研儀器設(shè)備研制專項“1.5米掃描干涉場曝光系統(tǒng)”進行了項目驗收。
 
　　會議成立了由中國計量科學研究院李天初院士擔任組長的驗收專家組，下設(shè)儀器測試專家小組，技術(shù)檔案專家小組和財務(wù)專家小組。8月24日，驗收專家組開展了儀器現(xiàn)場測試，并進行了技術(shù)檔案和財務(wù)驗收工作。
 
項目驗收會驗收專家組會議
 
　　8月25日，國家自然科學基金委信息科學部常務(wù)副主任張兆田主持了項目的驗收評審會。國家自然科學基金委副主任王承文，項目依托單位長春光機所所長賈平，中科院條件保障與財務(wù)局局長鄭曉年分別致辭，肯定了項目組“十年磨一劍”攻堅克難的精神和兢兢業(yè)業(yè)的付出，強調(diào)了儀器設(shè)備在科學研究、技術(shù)創(chuàng)新以及科技強國建設(shè)中的重要地位，并希望長春光機所充分發(fā)揮好國家重大科研儀器設(shè)備的重要作用。
 
　　專家組聽取了項目負責人巴音賀希格研究員的研制項目工作報告，項目監(jiān)理組朱文彬研究員的項目監(jiān)理報告，驗收專家組副組長唐玉國研究員的儀器技術(shù)測試報告，技術(shù)檔案專家小組組長石慧敏教授的檔案驗收意見報告和財務(wù)驗收專家小組組長高蓮高級會計師的財務(wù)驗收意見報告。驗收專家組對儀器技術(shù)指標進行了現(xiàn)場實地考察和儀器測試,對項目技術(shù)文件檔案及歸檔情況、相關(guān)賬務(wù)報告等進行了審核。經(jīng)質(zhì)詢和討論，一致同意項目通過驗收。
 
巴音賀希格研究員匯報項目完成情況
 
　　專家組認為，項目組全面完成了項目的研制任務(wù)，成功研制出1.5米掃描干涉場曝光系統(tǒng)，該儀器的各項工作性能均達到或超過了任務(wù)書指標；項目管理文件和技術(shù)文檔記錄全面，內(nèi)容真實可靠，檔案立卷符合規(guī)范要求；項目資金使用符合管理辦法要求；項目執(zhí)行期間，圍繞單體大尺寸全息光柵制作的一系列核心物理和技術(shù)問題開展前沿探索和技術(shù)攻關(guān)，取得了系列重要研究成果、技術(shù)創(chuàng)新和突破。
 
　　專項研制的儀器設(shè)備包括一臺1.5米掃描干涉場曝光系統(tǒng)及四臺制作全息光柵所需的輔助工藝設(shè)備。該項目主要面向高能拍瓦激光輸出技術(shù)、激光慣性約束核聚變研究及高端光刻機產(chǎn)業(yè)等戰(zhàn)略高科技領(lǐng)域?qū)Υ竺娣e全息光柵的迫切需求，研制了1.5米掃描干涉場曝光系統(tǒng)，其目標是具備以步進掃描多線曝光方式制作500mm×1500mm全息光柵的能力。經(jīng)過7年的攻關(guān)，項目組通過解決和突破長程重載工作臺超精密定位、曝光干涉場超精密測量及相位鎖定等十幾項基礎(chǔ)問題和關(guān)鍵技術(shù)，研制出了擁有制作最大面積650mm×1700mm單體無拼縫全息光柵能力的掃描干涉場曝光系統(tǒng)。該項目的順利實施與驗收，標志著我國具備了獨立制作米級單體無拼縫全息光柵的能力，打破了由國外長期壟斷的局面，對高能激光、可控核聚變、高端光刻等領(lǐng)域的技術(shù)與產(chǎn)業(yè)推進具有重大的戰(zhàn)略意義。
 
　　驗收會上，與會領(lǐng)導(dǎo)和項目驗收專家組肯定了項目組在大型科研儀器研制方面取得的豐碩成果，并表示該儀器多項技術(shù)指標達到先進水平。項目負責人巴音賀希格表示，項目的驗收是一個新的起點，項目組會繼續(xù)刻苦鉆研、攻堅克難，不斷推進項目的科技成果轉(zhuǎn)化，為國家科技進步和相關(guān)領(lǐng)域事業(yè)的發(fā)展貢獻力量。
 
項目驗收會會議代表合影
 
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