《真空計(jì) 四級(jí)質(zhì)譜儀的定義與規(guī)范》意見(jiàn)征求

作者： 2020年04月28日 來(lái)源：全球化工設(shè)備網(wǎng) 瀏覽量：
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目前，四極質(zhì)譜儀不僅用于真空中的泄漏檢測(cè)和殘余氣體分析，而且還用在工藝和控制過(guò)程中提供定量分析的儀器。但由于氣體的總壓力、混合氣體成分、四極質(zhì)譜儀設(shè)置、環(huán)境條件等對(duì)測(cè)量信號(hào)及其不確定度和數(shù)據(jù)分析有重大
　　目前，四極質(zhì)譜儀不僅用于真空中的泄漏檢測(cè)和殘余氣體分析，而且還用在工藝和控制過(guò)程中提供定量分析的儀器。但由于氣體的總壓力、混合氣體成分、四極質(zhì)譜儀設(shè)置、環(huán)境條件等對(duì)測(cè)量信號(hào)及其不確定度和數(shù)據(jù)分析有重大影響，因此不能對(duì)所有四極質(zhì)譜儀進(jìn)行校準(zhǔn)。實(shí)際使用時(shí)，要么在實(shí)際使用條件下進(jìn)行校準(zhǔn)，要么在指定條件下進(jìn)行校準(zhǔn)，因此需要進(jìn)行對(duì)四極質(zhì)譜儀進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化定義和規(guī)范指導(dǎo)。
 
　　近期，《真空計(jì) 四級(jí)質(zhì)譜儀的定義與規(guī)范》已經(jīng)編制完成，并正面向社會(huì)征求意見(jiàn)。據(jù)悉，該標(biāo)準(zhǔn)是蘭州空間技術(shù)物理研究所、安徽皖儀科技股份有限公司、安徽歌博科技有限公司、湖南維格磁流體股份有限公司、惠州飛凱新材料有限公司、沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所有限公司在中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)的主管下，遵循“面向市場(chǎng)、服務(wù)產(chǎn)業(yè)、自主制定、適時(shí)推出、及時(shí)修訂、不斷完善”的原則，依據(jù)GB/T 1.1-2009《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和編寫(xiě)》編寫(xiě)結(jié)構(gòu)、編排內(nèi)容共同起草的。
 
　　閱讀《真空計(jì) 四級(jí)質(zhì)譜儀的定義與規(guī)范》征求意見(jiàn)稿后可知，標(biāo)準(zhǔn)適用于配備了電子轟擊型離子源的四極質(zhì)譜儀。這樣的四極質(zhì)譜儀通常用于測(cè)量質(zhì)荷比(m/z)小于300的物質(zhì)。配有其它類型的離子源，如化學(xué)電離、光電離、場(chǎng)致電離等，以及主要用于檢測(cè)質(zhì)荷比(m/z)大于300的特定有機(jī)材料的四極質(zhì)譜儀，不在本標(biāo)準(zhǔn)的范圍內(nèi)。
 
　　本標(biāo)準(zhǔn)定義了與四極質(zhì)譜儀相關(guān)的術(shù)語(yǔ)，并規(guī)定了制造商說(shuō)明書(shū)中需要的參數(shù)，用于正常的校準(zhǔn)和保證分壓力測(cè)量質(zhì)量；明確了四級(jí)質(zhì)譜儀的原理是正離子在離子源中產(chǎn)生。這些離子加速飛向?yàn)V質(zhì)器，其由四個(gè)對(duì)稱排列的具有方形橫截面的雙曲柱形桿或棒組成，施加在四級(jí)桿上的直流和射頻組合電壓通過(guò)質(zhì)荷比不同來(lái)分離由四極質(zhì)譜儀檢測(cè)器檢測(cè)到的這些離子；并表明為確保用戶在使用四級(jí)質(zhì)譜儀時(shí)能最大限度的減少測(cè)量誤差并提供安全操作指導(dǎo)，制造商應(yīng)給出質(zhì)量范圍、離子源類型、離子檢測(cè)器類型、質(zhì)量分辨率、靈敏度、線性響應(yīng)范圍、掃描參數(shù)、電位、傳感器頭和電控單元的質(zhì)量等功能和技術(shù)規(guī)范。
 
　　本標(biāo)準(zhǔn)的制定，為四極質(zhì)譜儀提供了與國(guó)際上一致的的定義與規(guī)范，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，這不僅有利于提升我國(guó)四極質(zhì)譜儀產(chǎn)品的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力，也有利于使用者在綜合考慮國(guó)內(nèi)外產(chǎn)品性能時(shí)，提供技術(shù)支撐。為此，希望相關(guān)單位能在仔細(xì)研核后提出相關(guān)建設(shè)性意見(jiàn)。
 
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