隨著真空應(yīng)用技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬,大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求,由于真空應(yīng)用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬,因此任何一種類(lèi)型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍,只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,使用不同類(lèi)型的真空泵。使用企業(yè)需根據(jù)各自的使用工況、真空度要求等方面因素考慮如何選取真空泵。
歸納一下各類(lèi)真空泵適用的工藝類(lèi)型:
1、水環(huán)真空泵:適用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空干燥、真空保鮮、真空儲(chǔ)藏、真空輸送、真空成型等工藝。
2、往復(fù)真空泵:適用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過(guò)濾、真空造型、真空干燥、鋼液真空處理等工藝。往復(fù)真空泵與水環(huán)真空泵的使用工藝基本相同。但是,往復(fù)真空泵不能直接抽水蒸氣,需要抽水蒸氣時(shí)一定要配備冷阱,采用制冷壓縮機(jī)系統(tǒng)冷卻。
3、油封機(jī)械真空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵):適用于真空蒸餾、真空干燥、真空浸漬、真空燒結(jié)、真空絕熱、真空釬焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝。當(dāng)前,油封機(jī)械真空泵作為直排大氣的真空泵,使用的量大面廣。
4、羅茨真空泵(機(jī)械增壓泵):適用于真空燒結(jié)、真空釬焊、真空浸漬、真空干燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工藝。決大多數(shù)羅茨泵都不能用于直排大氣,需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級(jí)泵使用。濕式羅茨泵可以直排大氣,主要用于造紙工業(yè)。
5、油增壓泵:適用于真空冶煉、真空燒結(jié)、真空釬焊、真空熱處理等工藝。它與機(jī)械增壓泵相類(lèi)似,不能直排大氣,必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級(jí)泵使用。
6、油擴(kuò)散泵:適用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真空提純、真空分析儀器、真空檢漏儀、生產(chǎn)電真空器件、宇宙空間模擬、加速器真空系統(tǒng)等工藝中使用。它適合于抽取高真空,本身不能直排大氣,必須配備前級(jí)泵使用。
7、干式真空泵(羅桿泵、渦旋泵、爪形泵):適用于無(wú)油清潔的真空工藝過(guò)程,例如半導(dǎo)體行業(yè)、電子行業(yè)、化工行業(yè)等各種工藝中,這幾種泵都能直排大氣。
8、吸附泵:適合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器、以及各種要求清潔無(wú)油的真空系統(tǒng)中使用。
9、鈦泵(濺射離子泵、升華泵):適用于真空鍍膜、電真空器件、大規(guī)模集成電路、表面物理、表面化學(xué)、熱核物理、等離子體物理、超導(dǎo)技術(shù)等工作中。
10、分子泵:適用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化學(xué)、等離子體物理、光學(xué)儀器、熱核反應(yīng)、宇航技術(shù)等工作中。
11、水噴射泵:適合于真空倒料、真空輸送、化工、化纖、制藥、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚、真空除氧等工業(yè)領(lǐng)域。
12、水蒸氣噴射泵:適合于真空冶煉、真空脫氣、真空蒸發(fā)、真空干燥、真空回潮等工業(yè)領(lǐng)域。
13、低溫泵:適合于真空鍍膜、表面物理、超導(dǎo)技術(shù)、宇航技術(shù)等領(lǐng)域中。
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