您知道陽極氧化與發(fā)藍處理的弊端嗎？

盡管表面是耐腐蝕的，但容易被刮擦。陽極氧化過程大多不會增強表面硬度，鍍鉻倒是有此功效，但鉻有毒性，且易磨損、易變形、易碎裂。

1、物理氣相沉積的常見問題

Duralar科技有限公司——真空沉積系統(tǒng)的制造商，希望利用物理氣相沉積開發(fā)一套類金剛石材料的快速鍍膜系統(tǒng)。

其堅固性與持久性都強于陽極氧化與鍍鉻，并將應用于金屬部件表面的防腐蝕、防侵蝕、防磨損等處理過程。

類似于Duralar公司的物理氣相沉積技術(shù)，在研發(fā)過程中需要不斷地測試，考慮新方案的可行性，并且時時切換氣體種類，調(diào)節(jié)流量大小，從而確保精確的鍍膜量。

如果您是同行，您一定不希望為每一次測試，都采購一臺全新的真空型質(zhì)量流量控制器，也一定不能忍受每切換一次氣體，都不得不重新標定質(zhì)量流量控制器。

Duralar公司最初的氣相沉積系統(tǒng)中集成了6臺熱式質(zhì)量流量控制器，但這6臺設備無一采用特殊氣體——四甲基硅烷(簡稱TMS)。

事實上，除非將系統(tǒng)停機后重新標定質(zhì)量流量控制器，否則無法實現(xiàn)氣體切換。

2、Alicat解決方案

Duralar公司聯(lián)系了Alicat。雖然四甲基硅烷不在Alicat的標準兼容氣體列表中，但經(jīng)過一番定制化設計后，我們交付了一臺耐腐蝕、四甲基硅烷特殊標定的質(zhì)量流量控制器。

碳素鋼通過硬如金剛石的物理氣相沉積真空鍍膜后呈黑色

Duralar公司實現(xiàn)了始終維持精密四甲基硅烷流量，無論流量滿量程還是僅為滿量程的0.5%。

因為Alicat質(zhì)量流量控制器內(nèi)置的氣體切換功能采用的算法，不僅是乘以系數(shù)K對某一點流量進行補償，而是基于一套完整的、附有NIST粘度值的性能曲線。

Duralar公司也無需擔心工廠內(nèi)溫度或壓力的變化對精度產(chǎn)生干擾。

因為不同于傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量控制器，Alicat質(zhì)量流量控制器內(nèi)的閉合回路傳感器將自動對體積的變化進行補償。

Duralar公司通過將腔體抽真空來生產(chǎn)鍍膜材料，腔體內(nèi)充入適宜流量的氣體，加入蒸汽鍍料，并將其轉(zhuǎn)化成具有附著性的漿體。

物理氣相沉積必須在真空環(huán)境下進行，從而鍍料到達被鍍物體表面時不會被氧化。

由一臺真空泵與三臺質(zhì)量流量控制器組成的原型系統(tǒng)

之后，Duralar公司又打算開發(fā)一項管道內(nèi)壁鍍層的系統(tǒng)。

管道內(nèi)壁鍍層可以減少腐蝕性液體或氣體造成的腐蝕。

Alicat解決方案將管道尾部密封以形成一真空腔體，在一狹窄的管道空間內(nèi)改變鍍料位置，完成管道內(nèi)壁鍍層。

利用一臺用于四甲基硅烷的MCS系列耐腐蝕型質(zhì)量流量控制器，及兩臺MC系列標準型質(zhì)量流量控制器，Duralar公司輕而易舉地實現(xiàn)了預置的98種常用氣體，還可以外加至多20種自定義氣體來任意切換。

MCS系列耐腐蝕型質(zhì)量流量控制器中標準預置氣體更是達到128種。

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3、Alicat遠程控制

Duralar公司下載Alicat LabVIEW驅(qū)動程序來構(gòu)建上述真空系統(tǒng)，通過遠程電腦來控制質(zhì)量流量控制器及自己的節(jié)流閥。

最終，在規(guī)定期限內(nèi)完成了此真空系統(tǒng)的設計，并已將其投產(chǎn)。

Alicat質(zhì)量流量控制器應用于原型系統(tǒng)的LabVIEW界面

如今，您可以為您的金屬部件鍍上類金剛石的材料，也可以訂購一臺鍍膜系統(tǒng)開展相關(guān)的鍍膜服務。

相比于陽極氧化，真空鍍膜要持久耐用得多；與鍍鉻相比，則更為簡易與堅硬。

Alicat質(zhì)量流量控制器的可變與適應性使得物理氣相沉積技術(shù)又有了新的突破。