“高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究”項目獲立項

　　日前，沈陽儀表研究院與沈陽工業(yè)大學聯(lián)合申報的“高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究”項目獲得國家自然科學基金委員會立項批復，項目總經(jīng)費78萬元。

　　該項目由沈陽儀表研究院與沈陽工業(yè)大學聯(lián)合申報，執(zhí)行年限為2014年1月至2017年12月。該項目將設計一種MEMS加速度傳感器，帶有主梁和超薄敏感微梁，主要基于納米功能材料來實現(xiàn)。

　　該MEMS加速度傳感器的靈敏度和溫度特性大大得到提升，主要得益于納米膜壓阻微梁之超常的機械特性，以及良好的壓阻特性。目前加速傳感器中普遍存在著諧振頻率與靈敏度相互制約的難題，而如何解決這一難題成為業(yè)內(nèi)的一大挑戰(zhàn)。該項目將通過對該敏感結(jié)構之主梁和微梁的合理設計，解決該難題，并實現(xiàn)均衡提高固有諧振頻率和靈敏度。

　　利用納米膜壓阻微梁之超常的機械特性和良好的壓阻特性，提高靈敏度，改善溫度特性；通過對該敏感結(jié)構之主梁和微梁的合理設計，解決加速度傳感器中普遍存在的諧振頻率與靈敏度相互制約的難題，達到均衡提高固有諧振頻率和靈敏度的目的；突破微梁加工和芯片鈍化、封裝等關鍵技術，研制出新型加速度傳感器樣品，并最終驗證這種壓阻加速度傳感器的可行性及優(yōu)勢。

　　該項目的開展可望在隧道壓阻效應、納米復合膜微梁力學特性以及新型加速度傳感器技術等方面的研究中獲得創(chuàng)新性成果。在傳感技術日益受到高度重視的背景下，這些成果將具有廣闊的應用前景。

　　研究人員將突破微梁加工和芯片鈍化、封裝等關鍵技術，研制出新型加速度傳感器樣品，并對其可行性和優(yōu)勢進行驗證。該項目對于推進我國在隧道壓阻效應、納米復合膜微梁力學特性以及新型加速度傳感器技術等方面的研究具有重要意義，并為更深入和廣闊的應用提供了可能。

　　國產(chǎn)傳感器的發(fā)展起步?jīng)]有國外早，尤其是國外一些高端技術的傳感器，有些甚至目前在我國都沒有那種技術去實現(xiàn)。但是隨著傳感器應用范圍的擴大，我國有且需要技術精湛的人員去開發(fā)。