集成電路測試系統(tǒng)是指在集成電路生產(chǎn)、使用中用于產(chǎn)品電性能參數(shù)測試的設(shè)備。一般為數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)、模擬集成電路測試系統(tǒng)和混合集成電路測試系統(tǒng),混合集成電路測試系統(tǒng)測試對象是混合信號集成電路器件。混合集成電路測試系統(tǒng)的典型結(jié)構(gòu)由數(shù)字部分和模擬部分及電源等輔助部分構(gòu)成?;旌霞呻娐窚y試系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖,如圖 1 所示:
9月20日,根據(jù)國家市場監(jiān)督管理總局計量司國家計量技術(shù)規(guī)范制修訂計劃安排,全國無線電計量技術(shù)委員會已完成《混合集成電路測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見稿。為了使國家計量技術(shù)規(guī)范能廣泛適用和更具可操作性,特向全國有關(guān)單位征求意見和建議,征求意見截止時間為 2019 年 11 月 20 日。
《混合集成電路測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范》適用于 DC~1GHz 頻段混合集成電路測試系統(tǒng)的校準(zhǔn)。該項規(guī)范的主要內(nèi)容有范圍、引用文件、概述、計量特性、校準(zhǔn)條件、校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)、復(fù)檢時間間隔等。
其中,計量特性包括系統(tǒng)時鐘頻率、數(shù)字通道頻率、驅(qū)動單元、比較單元、器件電源單元、精密測量單元、波形發(fā)生單元、波形數(shù)字化單元。校準(zhǔn)條件包括環(huán)境條件、校準(zhǔn)用設(shè)備。環(huán)境條件要求:1)環(huán)境溫度:23℃~28℃;2)相對濕度:小于 70%;3)電源電壓及頻率:(220±11)V、(50±1)Hz;4)周圍無影響正常工作的機(jī)械振動和電磁干擾。校準(zhǔn)用設(shè)備有標(biāo)準(zhǔn)電壓源、數(shù)字多用表、測量接收機(jī)、頻率計數(shù)器、數(shù)字示波器、標(biāo)準(zhǔn)電阻器組、信號源、頻譜分析儀。
混合集成電路測試系統(tǒng)的校準(zhǔn)項目如下表所示:
值得注意的是,對該儀器設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)前需要有校準(zhǔn)前的準(zhǔn)備,包括檢查系統(tǒng)正常工作所配套附件是否齊全。校準(zhǔn)之前,儀器應(yīng)按照儀器說明書要求預(yù)熱。按系統(tǒng)規(guī)定時間預(yù)熱后,儀器應(yīng)能正常工作。運行系統(tǒng)自校準(zhǔn)程序,系統(tǒng)全部指標(biāo)均為合格狀態(tài)。
校準(zhǔn)后,出具校準(zhǔn)證書。校準(zhǔn)證書由封面和校準(zhǔn)數(shù)據(jù)組成。封面由校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)確定同一格式,校準(zhǔn)數(shù)據(jù)按附錄所列數(shù)據(jù)表格,并可根據(jù)被測儀表的情況進(jìn)行填寫。另外,本規(guī)范建議儀器的復(fù)校時間間隔為1年,由用戶根據(jù)使用情況自行確定。
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《混合集成電路測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見稿