近日,安捷倫公司發(fā)布CombiNEG吸氣劑復(fù)合型離子泵。該泵可以以最高速度和最大容量處理甲烷、氬氣和氦氣等惰性氣體,大大增強(qiáng)了超高真空時(shí)離子泵的抽氣能力,為超高真空、極高真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)提供了新的選擇。
CombiNEG系列采用安捷倫科技的StarCell離子泵抽氣單元和賽斯的燒結(jié)型非蒸散型吸氣劑。該系列最大可復(fù)合2000L/s的吸氣劑泵,其開啟工作時(shí)可將前級泵隔離封閉抽氣,可靠性高,所需電流極小,對環(huán)境磁場的影響也很小,并且無油無振動,適合粒子加速器、表面科學(xué)儀器和設(shè)備等需要超高真空、極高真空的系統(tǒng)。
標(biāo)簽:安捷倫 CombiNEG 吸氣劑復(fù)合型離子泵
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