近日,安捷倫科技發(fā)布了全新的CombiNEG 吸氣劑復(fù)合型離子泵。該泵大大增強(qiáng)了超高真空時(shí)離子泵的抽氣能力,為超高真空、極高真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)提供了新的選擇。
CombiNEG系列采用安捷倫科技(Agilent Technologies)獨(dú)特的StarCell離子泵抽氣單元和賽斯(Saes Groups)的燒結(jié)型非蒸散型吸氣劑(NEG)。安捷倫真空(原瓦里安真空)是離子泵的發(fā)明者,賽斯是NEG吸氣劑泵的始創(chuàng)者。兩家公司累計(jì)超過100年的真空經(jīng)驗(yàn)、各自*尖端的技術(shù)和緊密的合作是這一革命性的產(chǎn)品問世的基礎(chǔ)。
StarCell 的專利設(shè)計(jì)使其成為能抽除大量惰性氣體的離子泵,該泵可以以*高速度和*大容量處理甲烷、氬氣和氦氣等惰性氣體。非蒸散型吸氣劑技術(shù)(NEG)是SAES集團(tuán)于上世紀(jì)七十年代開發(fā)的。非蒸散型吸氣劑對氫氣、水蒸氣、氮?dú)?、氧氣等活性氣體有很大的抽速,其通常與濺射離子泵、渦輪分子泵或者低溫泵等其他真空泵結(jié)合使用,以改善系統(tǒng)的極限真空或者減少抽氣時(shí)間。
CombiNEG系列*大可復(fù)合2000L/s的吸氣劑泵,其開啟工作時(shí)可將前級泵隔離封閉抽氣,可靠性高,所需電流極小,對環(huán)境磁場的影響也很小,并且無油無振動(dòng),非常適合粒子加速器、表面科學(xué)儀器和設(shè)備等需要超高真空、極高真空的系統(tǒng)。雙泵復(fù)合單一抽氣口的設(shè)計(jì),使其結(jié)構(gòu)很緊湊,安裝使用也更簡單。
標(biāo)簽:安捷倫 吸氣劑復(fù)合型離子泵 抽氣 超高真空時(shí)離子泵
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