三維激光共聚焦顯微鏡精確數(shù)字化描述

常用的磨損表面形貌觀察手段有體視顯微鏡、掃描電鏡, 但不具備表面形貌特征的數(shù)字化描述功能;常用的粗糙度測量手段有干涉儀、粗糙度儀等,但是不能對磨損表面形貌進(jìn)行觀察。先進(jìn)的磨損表面形貌分析、表征設(shè)備要求在觀察到磨損表面形貌的同時(shí)能得到準(zhǔn)確的表面形貌數(shù)據(jù)以便能進(jìn)行進(jìn)一步的分析。而三維激光共聚焦顯微鏡（三維形貌輪廓測量儀）的出現(xiàn)彌補(bǔ)了這一缺陷, 同時(shí)具備磨損形貌觀察以及數(shù)字化描述的功能, 能方便、準(zhǔn)確地對磨損表面形貌進(jìn)行深入研究 。粗糙度是數(shù)字化描述磨損表面形貌特征的最常用的一些參數(shù),都可以通過調(diào)整配置即可對磨損表面粗糙度特征進(jìn)行精確描述, 在此基礎(chǔ)上對不同磨損形態(tài)的磨損表面形貌進(jìn)行分析。
磨損是材料常見的表面失效現(xiàn)象,粗糙度是數(shù)字化描述材料磨損表面形貌特征的最常用參數(shù)。采用三維表面形貌掃描儀能夠得到材料磨損表面的真實(shí)形貌, 同時(shí)能夠?qū)δp表面三維(3D)形貌特征進(jìn)行精確數(shù)字化描述。對常見的粗糙度值范圍內(nèi)的磨損表面采用相應(yīng)物鏡掃描測量比較合適;粗糙度小于一定范圍的磨損表面宜采用相對應(yīng)物鏡;粗糙度大于一定范圍的宜采用小倍率物鏡。對比較規(guī)則的磨損表面, 采用幾個(gè)物鏡視場疊加掃描即可得到比較精確的粗糙度值;對于不太規(guī)則的磨損表面, 則需要物鏡視場疊加掃描。借助這一手段, 采用上述優(yōu)化參數(shù)對一些冷軋輥材料磨損各階段試樣表面形貌及粗糙度輪廓曲線進(jìn)行表征、分析, 效果較好。