電子工業(yè)用氣體氬技術指標 GB/T 16945-1997

作者： 2018年02月05日 來源：全球化工設備網(wǎng) 瀏覽量：
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項目指標氬純度，10-2，≥99.9992氫含量，10-6，≤1氮含量，10-6，≤5氧含量，10-6，≤0.5一氧化碳和二氧化碳含量，10-6，≤0.5總烴（以甲烷計）含量，10-6，≤0.5水分含量，10-6，≤0.5顆粒供需雙方商定試驗方法：1
項目
指標
氬純度，10-2，≥
99.9992
氫含量，10-6，≤
1
氮含量，10-6，≤
5
氧含量，10-6，≤
0.5
一氧化碳和二氧化碳含量，10-6，≤
0.5
總烴（以甲烷計）含量，10-6，≤
0.5
水分含量，10-6，≤
0.5
顆粒
供需雙方商定
 
試驗方法：
1　氫和氮含量的測定：
1.1　方法：采用配備氦離子化檢測器的氣相色譜儀測定氬中的氫和氮。
1.2　檢測限：氫0.1×10-6(V/V)；氮0.5×10-6(V/V)
1.3　儀器參數(shù)
1.3.1　色譜柱：將色譜分析用粒度為0.25～0.40mm的5A分子篩裝入內(nèi)徑4mm，長約3m的不銹鋼管內(nèi)，于300℃通氬氣活化3h。或采用等效色譜柱。
1.3.2　載氣：約30mL/min氦氣，氦氣中雜質(zhì)含量比待測組分含量低一個數(shù)量級。
1.3.3　樣品體積：1.0～3.0mL。
1.3.4　溫度：檢測器及柱加熱箱均為室溫。
1.3.5　標樣：含1～5×10-6(V/V)氫的氬，含5～25×10-6(V/V)氮的氬。
1.4　操作步驟
1.4.1　用氣體進樣閥進標樣。
1.4.2　用同樣方法進待測樣品。
1.4.3　重復上述兩條，取兩次平行測定結(jié)果的算術平均值為測定結(jié)果，單個值與平均值的相對偏差不得大于10%。
1.4.4　比較標樣峰和試樣峰的平均面積，用下式分別計算氫和氮的含量，其結(jié)果不得超過本標準的上表規(guī)定值。
　　　　φi=(φs-Ai)/As
　　　　式中：φi－－樣品氣中的待測組分i的含量，10-6(V/V)；
　　　　　　　φs－－標準氣中的組分i的含量，10-6(V/V)；
　　　　　　　Ai－－樣品氣組分i的峰面積，mm2(V/V)；
　　　　　　　As－－標樣氣組分i的峰面積，mm2(V/V)；
　　　　　　　當半峰寬不變時可用峰高定量。
2　氧含量的測定
　　按GB/T6285執(zhí)行。
　　儀器檢測限：0.1×10-6(V/V)。
　　標樣：氬中含氧1×10-6～5×10-6(V/V)。
3　一氧化碳和二氧化碳含量的測定
　　按GB/T8984.1執(zhí)行。
　　儀器檢測限：0.1×10-6(V/V)。
　　標樣：氬中含一氧化碳、二氧化碳1×10-6～2×10-6(V/V)。　　
4　總烴（以甲烷計）含量的測定
　　按GB/T8984.3執(zhí)行。
　　儀器檢測限：0.1×10-6(V/V)。
　　標樣：氬中含甲烷1×10-6～2×10-6(V/V)。
5　水分含量的測定
　　按GB/T5832.1或GB/T5832.2執(zhí)行，兩種方法具有同等效力。
　　儀器檢測限：0.2×10-6(V/V)，經(jīng)相應檢定規(guī)程檢定合格。
 
 
（源自：中國流體機械網(wǎng)）
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