我國集成電路核心裝備國產(chǎn)化獲重大進展

　　據(jù)報道，我國集成電路核心裝備國產(chǎn)化獲重大進展。中芯國際北京廠使用國產(chǎn)設(shè)備加工的12寸正式產(chǎn)品晶圓加工突破一千萬片次，標(biāo)志著集成電路國產(chǎn)設(shè)備在市場化大生產(chǎn)中得到充分驗證，國產(chǎn)設(shè)備技術(shù)和市場競爭力邁上了一個新臺階。正是由于工藝制造的高精度和復(fù)雜度，芯片生產(chǎn)需要機械、電子、軟件、控制、材料等多個學(xué)科的配合。集成電路生產(chǎn)線上刻蝕機、氧化機、薄膜、光刻、離子注入等設(shè)備，一直都由歐美日少數(shù)公司掌握。但從2008年至今，一些國產(chǎn)材料和大型裝備正在逐漸進入這條全國最先進的集成電路生產(chǎn)線。
　　專家介紹，隨著集成電路國產(chǎn)設(shè)備在市場化大生產(chǎn)中得到充分驗證，我國集成電路制造產(chǎn)業(yè)與國外最先進水平的差距縮短了至少五年。雖然目前設(shè)備國產(chǎn)化仍處于初期，需要投入大量人力、財力、物力，但隨著國產(chǎn)設(shè)備大量投入使用，將使得我國芯片制造的設(shè)備采購成本降低25%左右。集成電路技術(shù)40多年來一直按照摩爾定律規(guī)律發(fā)展，即每隔18個月技術(shù)更新一代。每一代技術(shù)的更新可使芯片集成度提高1倍，電路性能提高40%。隨著摩爾定律近年來逐漸逼近極限，裝備國產(chǎn)化對于提升我國集成電路行業(yè)競爭力將起到巨大作用。（來源：互聯(lián)網(wǎng)）