國(guó)家儀器重大專項(xiàng)—微納米測(cè)量?jī)x實(shí)現(xiàn)新突破

   日前，由上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院全資子公司上海計(jì)測(cè)工程設(shè)備監(jiān)理有限公司牽頭的國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)——“跨尺度微納米測(cè)量?jī)x的開發(fā)和應(yīng)用（2014YQ090709）”2016年度會(huì)議在上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院院召開。　　
   該會(huì)議由國(guó)家質(zhì)檢總局科技司副處長(zhǎng)謝正文主持，國(guó)家質(zhì)檢總局科技司王越薇副司長(zhǎng)、國(guó)家科技部資配司錢小勇處長(zhǎng)、上海市科委基地處過浩敏處長(zhǎng)、張露璐主管、上海市質(zhì)監(jiān)局陸敏總工、朱晨輝處長(zhǎng)、金國(guó)藩院士、莊松林院士、李同保院士、上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院邵力院長(zhǎng)以及項(xiàng)目組全體成員出席了會(huì)議?！　　　?huì)上，謝正文副處長(zhǎng)通報(bào)了國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)2016年度項(xiàng)目中期評(píng)估結(jié)果。此次共有29個(gè)項(xiàng)目參加評(píng)估，本項(xiàng)目的中期評(píng)估綜合等第為A類，成為僅有的5個(gè)A類項(xiàng)目之一。與會(huì)的領(lǐng)導(dǎo)和專家都對(duì)本項(xiàng)目獲得如此高的評(píng)分表示祝賀！　　　　項(xiàng)目負(fù)責(zé)人邵力向與會(huì)領(lǐng)導(dǎo)和專家介紹項(xiàng)目進(jìn)展、展示項(xiàng)目成果，并匯報(bào)下一階段工作計(jì)劃與系列樣機(jī)規(guī)劃。本項(xiàng)目已研制高精度跨尺度微納米測(cè)量?jī)x一臺(tái)、通用型跨尺度微納米測(cè)量?jī)x兩臺(tái)（裝配中），性能指標(biāo)及相關(guān)參數(shù)均符合科技部立項(xiàng)要求。并且，本項(xiàng)目研發(fā)儀器已在納米標(biāo)準(zhǔn)樣品的制備及檢測(cè)、超精密加工材料的微介觀結(jié)構(gòu)檢測(cè)、IC晶圓的檢測(cè)、環(huán)境顆粒物質(zhì)的檢測(cè)等方面展開應(yīng)用?！　　　?huì)領(lǐng)導(dǎo)、專家組、監(jiān)理組和用戶委員會(huì)成員都對(duì)本項(xiàng)目的發(fā)展及應(yīng)用前景表示樂觀，建議加強(qiáng)項(xiàng)目后續(xù)工程化、產(chǎn)業(yè)化工作，進(jìn)一步提高儀器的穩(wěn)定性和可靠性，集中1-2個(gè)較好領(lǐng)域研發(fā)專業(yè)化的應(yīng)用軟件。　　　　王越薇副司長(zhǎng)提出，要重視知識(shí)產(chǎn)權(quán)的問題，通過深入挖掘真正的需求要害點(diǎn)、后期引入專業(yè)的市場(chǎng)營(yíng)銷人才等手段，使中國(guó)制造的高端儀器真正走向市場(chǎng)。