國家儀器重大專項—微納米測量儀實現(xiàn)新突破

   日前，由上海市計量測試技術(shù)研究院全資子公司上海計測工程設(shè)備監(jiān)理有限公司牽頭的國家重大科學儀器設(shè)備開發(fā)專項——“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應用（2014YQ090709）”2016年度會議在上海市計量測試技術(shù)研究院院召開。　　
   該會議由國家質(zhì)檢總局科技司副處長謝正文主持，國家質(zhì)檢總局科技司王越薇副司長、國家科技部資配司錢小勇處長、上海市科委基地處過浩敏處長、張露璐主管、上海市質(zhì)監(jiān)局陸敏總工、朱晨輝處長、金國藩院士、莊松林院士、李同保院士、上海市計量測試技術(shù)研究院邵力院長以及項目組全體成員出席了會議。　　　　會上，謝正文副處長通報了國家重大科學儀器設(shè)備開發(fā)專項2016年度項目中期評估結(jié)果。此次共有29個項目參加評估，本項目的中期評估綜合等第為A類，成為僅有的5個A類項目之一。與會的領(lǐng)導和專家都對本項目獲得如此高的評分表示祝賀！　　　　項目負責人邵力向與會領(lǐng)導和專家介紹項目進展、展示項目成果，并匯報下一階段工作計劃與系列樣機規(guī)劃。本項目已研制高精度跨尺度微納米測量儀一臺、通用型跨尺度微納米測量儀兩臺（裝配中），性能指標及相關(guān)參數(shù)均符合科技部立項要求。并且，本項目研發(fā)儀器已在納米標準樣品的制備及檢測、超精密加工材料的微介觀結(jié)構(gòu)檢測、IC晶圓的檢測、環(huán)境顆粒物質(zhì)的檢測等方面展開應用?！　　　I(lǐng)導、專家組、監(jiān)理組和用戶委員會成員都對本項目的發(fā)展及應用前景表示樂觀，建議加強項目后續(xù)工程化、產(chǎn)業(yè)化工作，進一步提高儀器的穩(wěn)定性和可靠性，集中1-2個較好領(lǐng)域研發(fā)專業(yè)化的應用軟件。　　　　王越薇副司長提出，要重視知識產(chǎn)權(quán)的問題，通過深入挖掘真正的需求要害點、后期引入專業(yè)的市場營銷人才等手段，使中國制造的高端儀器真正走向市場。