精確的壓力控制能改善真空鍍膜效果

MCE系列和MCV系列質(zhì)量流量控制器可用來替換傳統(tǒng)和已停產(chǎn)的MKS設(shè)備。MCE系列和MCV系列產(chǎn)品按照通用的工業(yè)用質(zhì)量流量控制器尺寸設(shè)計，易于集成在現(xiàn)有系統(tǒng)中。在使用中，MCE系列和MCV系列質(zhì)量流量控制器可快速、精確地控制流量，從而保障工藝均勻性和工序質(zhì)量。

艾里卡特質(zhì)量流量控制器

艾里卡特MCE系列和MCV系列質(zhì)量流量控制器以50～100毫秒的控制響應(yīng)速度精確地控制氣體流量，量程范圍為0-0.5 sccm（滿量程）至0-20 slpm（滿量程）?？焖俚目刂祈憫?yīng)可以大大改善真空鍍膜最終產(chǎn)品質(zhì)量，并且有助于消除靶中毒。集成式氣動切斷閥為常閉狀態(tài)，可提供氦氣泄漏率僅為1 x 10-9 atm-sccm/s的正向切斷。

MCE系列質(zhì)量流量控制器用于取代MKS傳統(tǒng)型號1179A Mass-Flo®，而MCV系列質(zhì)量流量控制器則用于取代MKS已停產(chǎn)的型號2179A Mass-Flo®的。艾里卡特質(zhì)量流量控制器均采用12-30伏通用電源適配器供電。此外，艾里卡特質(zhì)量流量控制器的通訊接口可與所有現(xiàn)有的9針或15針D-sub引腳相匹配，從而方便用戶進行替換。艾里卡特質(zhì)量流量控制器可被任意方向安裝，甚至倒置，不需要進行再次校準，因此大大簡化了安裝過程。

預(yù)設(shè)了98種常用氣體的MCE系列和MCV系列質(zhì)量流量控制器內(nèi)預(yù)設(shè)了98種可以測量質(zhì)量流量、體積流量、以及絕對壓力和溫度，并自帶溫度和壓力補償功能。用戶可通過質(zhì)量流量控制器自帶的顯示屏接輸入設(shè)定值，也可通過RS-232（或RS-485）串口通訊進行遠程設(shè)定。

MCE系列和MCV系列質(zhì)量流量控制器采用的艾里卡特專利的層流壓差技術(shù)，具有NIST可溯源校準證書以及CE認證。