納米存儲(chǔ)器三維集成中的基礎(chǔ)研究有望創(chuàng)新性突破,預(yù)期實(shí)現(xiàn)高性能的三維納米存儲(chǔ)器演示芯片,并通過(guò)項(xiàng)目的研究培養(yǎng)和建立一支具有國(guó)際水平的科研隊(duì)伍,為我國(guó)存儲(chǔ)器產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)跨越式發(fā)展。
2016年10月15日,納米科技重點(diǎn)專項(xiàng)“納米存儲(chǔ)器三維集成中的基礎(chǔ)研究”項(xiàng)目在北京召開(kāi)項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)暨實(shí)施方案論證會(huì)??萍疾扛呒夹g(shù)研究與發(fā)展中心、北京大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院微電子所、華中科技大學(xué)等相關(guān)研究單位的10余位專家參加了會(huì)議。
科技部高技術(shù)中心代表介紹了納米科技重點(diǎn)專項(xiàng)2016年評(píng)審立項(xiàng)情況和近期專項(xiàng)工作進(jìn)度安排,對(duì)項(xiàng)目的組織實(shí)施從強(qiáng)化承擔(dān)單位法人責(zé)任、建立項(xiàng)目管理制度、加強(qiáng)項(xiàng)目課題的組織協(xié)調(diào)、重立項(xiàng)重過(guò)程重驗(yàn)收等方面提出了明確要求。
該項(xiàng)目由清華大學(xué)牽頭承擔(dān),中國(guó)科學(xué)院微電子研究所、山東大學(xué)、中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司等為課題承擔(dān)單位。項(xiàng)目圍繞三維納米存儲(chǔ)器單元工作機(jī)制及性能優(yōu)化、存儲(chǔ)陣列集成及加工工藝、嵌入式應(yīng)用及計(jì)算與存儲(chǔ)融合的新應(yīng)用等三個(gè)方面中面臨的基礎(chǔ)科學(xué)和技術(shù)問(wèn)題,旨在半導(dǎo)體存儲(chǔ)器技術(shù)從二維集成向三維集成轉(zhuǎn)型的背景下,抓住機(jī)遇發(fā)展新型三維納米存儲(chǔ)器技術(shù),預(yù)期實(shí)現(xiàn)高性能的三維納米存儲(chǔ)器演示芯片,并通過(guò)項(xiàng)目的研究培養(yǎng)和建立一支具有國(guó)際水平的科研隊(duì)伍,發(fā)展成為納米存儲(chǔ)的研發(fā)創(chuàng)新平臺(tái),為我國(guó)存儲(chǔ)器產(chǎn)業(yè)提供自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和原型技術(shù),支撐和引領(lǐng)我國(guó)存儲(chǔ)器產(chǎn)業(yè)的跨越式發(fā)展。
與會(huì)專家指出了未來(lái)項(xiàng)目實(shí)施過(guò)程中將面臨的關(guān)鍵科學(xué)和技術(shù)難點(diǎn)以及為解決這些難點(diǎn)所建議采用的方法,強(qiáng)調(diào)項(xiàng)目應(yīng)圍繞國(guó)家重大需求和納米專項(xiàng)的整體發(fā)展目標(biāo)開(kāi)展研究,產(chǎn)學(xué)研結(jié)合,協(xié)同攻關(guān)。
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