光電所在高精度平面絕對(duì)檢測(cè)研究中取得新進(jìn)展

　　中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所先進(jìn)光學(xué)研制中心在高精度平面絕對(duì)檢測(cè)研究中取得新進(jìn)展：首次提出了一種通用的平面絕對(duì)檢測(cè)方法，該方法采用逆向迭代優(yōu)化算法求解絕對(duì)檢測(cè)模型，具有簡(jiǎn)單、快速、準(zhǔn)確求解絕對(duì)面形的優(yōu)勢(shì)。相關(guān)結(jié)果發(fā)表于近期的Optics Express。

　　在過(guò)去的數(shù)十年中，受空間光學(xué)、同步輻射裝置以及深紫外、極紫外光刻機(jī)等項(xiàng)目的驅(qū)動(dòng)，高精度光學(xué)元件的需求日益增加。這些光學(xué)元件普遍要求光學(xué)面形檢測(cè)精度達(dá)到亞納米級(jí)（如0.1 nm RMS）的超高精度，并且要求實(shí)現(xiàn)像素分辨率的檢測(cè)。這給面形檢測(cè)提出了新的挑戰(zhàn)，使得高精度面形絕對(duì)檢測(cè)技術(shù)已成為國(guó)內(nèi)外的研究熱點(diǎn)和前沿核心技術(shù)。

　　該研究針對(duì)面形數(shù)據(jù)中的每個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)進(jìn)行迭代優(yōu)化求解，相對(duì)傳統(tǒng)澤尼克多項(xiàng)式擬合方法（低通濾波），可以實(shí)現(xiàn)像素分辨率的面形檢測(cè)，得到更多更全面的絕對(duì)面形數(shù)據(jù)。另外，研究提出的加速迭代算法可以大大降低計(jì)算成本和計(jì)算機(jī)內(nèi)存需求。

幾種迭代優(yōu)化算法迭代收斂速度對(duì)比