光電所在能動(dòng)磨盤(pán)加工技術(shù)研究中取得進(jìn)展

　　中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所先進(jìn)光學(xué)研制中心大鏡面課題組在能動(dòng)磨盤(pán)加工大口徑非球面研究中取得新進(jìn)展：首次提出了對(duì)能動(dòng)磨盤(pán)在動(dòng)態(tài)變形中的面形精度進(jìn)行分析研究，驗(yàn)證了基于主動(dòng)變形的能動(dòng)磨盤(pán)在動(dòng)態(tài)變形中的面形正確性，推翻了長(zhǎng)久以來(lái)認(rèn)為能動(dòng)磨盤(pán)的面形精度受其變形速度影響較大的觀點(diǎn)，得到了在一定范圍內(nèi)提高能動(dòng)磨盤(pán)變形速度并不影響加工精度的結(jié)論。該研究在提高能動(dòng)磨盤(pán)加工效率和加工精度上有很大應(yīng)用價(jià)值。相關(guān)結(jié)果發(fā)表于近期的Applied Optics（Vol. 55, Issue 6, pp. 1190-1197 (2016) •doi: 10.1364/AO.55.001190）。

　　在大口徑非球面鏡加工中，能動(dòng)磨盤(pán)可以通過(guò)主動(dòng)變形實(shí)現(xiàn)加工過(guò)程中盤(pán)面與鏡面實(shí)時(shí)吻合，在提高加工效率的同時(shí)抑制鏡面中高頻誤差。能動(dòng)磨盤(pán)被用于研拋鏡面之前，需要對(duì)磨盤(pán)面形進(jìn)行標(biāo)定進(jìn)而計(jì)算不同盤(pán)面要求下主動(dòng)變形所需的控制力。在該研究工作開(kāi)展之前，能動(dòng)磨盤(pán)加工中的動(dòng)態(tài)面形變化一直由靜態(tài)面形近似替代，而對(duì)大鏡面加工效率、鏡面精度和光潔度產(chǎn)生決定性的影響是磨盤(pán)的動(dòng)態(tài)面形精度。

　　課題組針對(duì)當(dāng)前能動(dòng)磨盤(pán)加工中對(duì)磨盤(pán)動(dòng)態(tài)面形變化了解不夠深入的薄弱環(huán)節(jié)，研制了能動(dòng)磨盤(pán)動(dòng)態(tài)面形檢測(cè)系統(tǒng)，通過(guò)檢測(cè)系統(tǒng)采集磨盤(pán)實(shí)時(shí)變化的面形數(shù)據(jù)，對(duì)磨盤(pán)變形中的動(dòng)態(tài)面形進(jìn)行還原，進(jìn)而分析能動(dòng)磨盤(pán)的動(dòng)態(tài)面形誤差及其對(duì)加工的影響。課題組還提出了優(yōu)化加工過(guò)程的方案，即在大鏡面加工的各個(gè)階段，根據(jù)鏡面要求的不同面形精度采用不同的能動(dòng)磨盤(pán)轉(zhuǎn)速進(jìn)行加工，在保證精度的前提下，提高加工效率。

　　該工作得到了國(guó)家重大專(zhuān)項(xiàng)子課題基金和國(guó)家自然科學(xué)基金的支持。