氣體質(zhì)量流量計技數(shù)參數(shù)

性能參數(shù)

MF4003

MF4008

單位

通 徑

3

8

mm

最大流量

2, 3, 4, 5

10, 20, 30, 40, 50

SLPM

量程比

100:1

精 度

±(1.5+0.2FS)

%

重復性

0.75

%

零點輸出飄移

±30

mV

輸出飄移

0.12

%/°C

響應時間

100（默認，50，100，200，500，1000可設(shè)置）

工作電源

8 ~ 18Vdc,100mA

輸出方式

RS232,模擬電壓0.5~4.5Vdc

顯示方式

4位7段LED數(shù)碼管顯示，2個指示燈

指示單位

瞬時流量：SLMP;累計流量：SL

顯示分辨率

0.001,0.01,0.1可設(shè)置

0.01,0.1可設(shè)置

SLPM

最大流量壓損

100

600

Pa

最大工作壓力

0.5

MPa

工作溫度

-10 ~ +55

°C

存儲溫度

-20 ~ +65

°C

工作濕度

<95（無結(jié)冰、無凝露）

%RH

機械接口

BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭

鍵盤

三個按鍵

引出線

5針插口，配0.5m電纜

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