超精密機械加工技術(shù)在微光學(xué)元件制造中的應(yīng)用

作者： 2013年07月22日 來源： 瀏覽量：
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1微光學(xué)概述1.1定義與名稱微光學(xué)是一門屬于多門前沿學(xué)科交叉領(lǐng)域的新興科學(xué)。微光學(xué)借助于微電子工業(yè)技術(shù)的最新研究成果，是國際上最前沿研究方向之一，并具有廣泛的應(yīng)用前途。微光學(xué)元件（MOC），指面形精度可達(dá)亞
 1 微光學(xué)概述

1.1 定義與名稱

微光學(xué)是一門屬于多門前沿學(xué)科交叉領(lǐng)域的新興科學(xué)。微光學(xué)借助于微電子工業(yè)技術(shù)的最新研究成果，是國際上最前沿研究方向之一，并具有廣泛的應(yīng)用前途。微光學(xué)元件（MOC），指面形精度可達(dá)亞微米級，表面粗糙度可達(dá)納米級的自由光學(xué)曲面及微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件。自由光學(xué)曲面包括有回轉(zhuǎn)軸的回轉(zhuǎn)非球面（如拋物面、漸開面等），和沒有任何對稱軸的非回轉(zhuǎn)非球面，如Zernike 像差方程曲面。微結(jié)構(gòu)是指具有特定功能的微小表面拓?fù)湫螤?，如凹槽、微透鏡陣列等，微金字塔結(jié)構(gòu)表面。這些結(jié)構(gòu)決定了對光線的反射，透射或衍射性能，便于光學(xué)設(shè)計者優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)，減輕重量，縮小體積。典型微光學(xué)元件如全息透鏡、衍射光學(xué)元件（DOE）和梯度折射率透鏡等，將這些微光學(xué)元件應(yīng)用在各種光電子儀器中，可以使光電子儀器及其零部件更加小型化、陣列化和集成化。

1.2 微光學(xué)元件的應(yīng)用

微光學(xué)元件是制造小型光電子系統(tǒng)的關(guān)鍵元件，它具有體積小、質(zhì)量輕、造價低等優(yōu)點，并且能夠?qū)崿F(xiàn)普通光學(xué)元件難以實現(xiàn)的微小、陣列、集成、成像和波面轉(zhuǎn)換等新功能。隨著系統(tǒng)小型化不斷的成為一種趨勢，幾乎在所有的工程應(yīng)用領(lǐng)域中，無論是現(xiàn)代國防科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，還是普通的工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用前景。軍用方面，西方國家在70 年代以后研制和生產(chǎn)的軍用光電系統(tǒng)，如軍用激光裝置、熱成像裝置、微光夜視頭盔、紅外掃描裝置、導(dǎo)彈引導(dǎo)頭和各種變焦鏡頭，均已在不同程度上采用了非球面光學(xué)零件。在一般民用光電系統(tǒng)方面，自由非球面零件可以大量地應(yīng)用到各種光電成像系統(tǒng)中。如飛機中提供飛行信息的顯示系統(tǒng)；攝像機的取景器、變焦鏡頭；紅外廣角地平儀中的鍺透鏡；錄像、錄音用顯微物鏡讀出頭；醫(yī)療診斷用的間接眼底鏡，內(nèi)窺鏡，漸進鏡片等。微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件應(yīng)用更是廣泛，如光纖連接器中的微槽結(jié)構(gòu)，液晶顯示屏的微透鏡陣列，及用于激光掃描的F-theta 鏡片，激光頭的分光器等，這些微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件在很多我們?nèi)粘Ｊ褂玫漠a(chǎn)品中都有應(yīng)用，比如手機、掌上電腦、CD 和DVD 等。

1.3 微光學(xué)元件加工方法

由于受應(yīng)用需求的驅(qū)動，對微光學(xué)元件加工技術(shù)的研究也在不斷深入，出現(xiàn)了多種現(xiàn)代加工技術(shù)，如電子束寫技術(shù)、激光束寫技術(shù)、光刻技術(shù)、蝕刻技術(shù)、LIGA 技術(shù)，復(fù)制技術(shù)和鍍膜技術(shù)等，其中最為成熟的技術(shù)是蝕刻技術(shù)和LIGA 技術(shù)。這些技術(shù)基本都是從微電子元器件的微細(xì)加工技術(shù)發(fā)展而來，但與電子原件不同，三維成型精度和裝配精度對光學(xué)元件來說是至關(guān)重要的，將會直接影響其性能，因此這些方法各自都有它自身的缺陷和使用的局限性。如由于視場深度的限制，光刻技術(shù)僅限于二微結(jié)構(gòu)和小深寬比三維結(jié)構(gòu)的加工；采用犧牲層蝕刻技術(shù)，雖然可以實現(xiàn)準(zhǔn)三維加工，但易使材料產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力，影響最終的機械性能，且設(shè)備造價非常昂貴；LIGA 技術(shù)利用的高準(zhǔn)直度的X 射線光源，一般要通過同步輻射加速器得到，造價比光刻設(shè)備還要高許多，一般實驗室和企業(yè)都很難負(fù)擔(dān)得起；電子束寫技術(shù)能夠加工納米級的精密結(jié)構(gòu)，但效率低，難以進行批量生產(chǎn)。復(fù)制技術(shù)，包括熱壓成型法、模壓成型法和注射成型法等，是一種適于批量生產(chǎn)的低成本技術(shù)，但要求其模具具有較高精度和耐用性。

微光學(xué)元件的另一加工方法是超精密機械加工技術(shù)。最近“財富”雜志上有這樣一句話：“超精密加工技術(shù)對光學(xué)元件的作用猶如當(dāng)初集成電路對電子元件的作用”。這句話雖然不無夸張，卻說明了用超精密機械加工技術(shù)進行微光學(xué)元件的加工已經(jīng)引起人們極大的重視。超精密機械加工技術(shù)在微光學(xué)元件加工中的應(yīng)用將在下一節(jié)詳細(xì)論述。

2 超精密機械加工技術(shù)在微光學(xué)元件加工中的應(yīng)用

超精密機械加工技術(shù)是利用刀具改變材料形狀或破壞材料表層，以切削形式來達(dá)到所要求的形狀。如單晶金剛石車削與銑削、磨削、快速切削和機械拋光等。本節(jié)主要講述超精密機械加工技術(shù)用于加工光學(xué)元件及其模具。

2.1 超精密機床關(guān)鍵技術(shù)發(fā)展

計算機輔助設(shè)計技術(shù)，尤其是有限元分析技術(shù)的發(fā)展，為超精密機床整體結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計提供了便利手段，使得機床剛度和穩(wěn)定性不斷提高。目前單晶金剛石車床的典型結(jié)構(gòu)具有“T”型布局結(jié)構(gòu)，主軸一般裝在X 向?qū)к壣?，刀具裝在Z 向?qū)к壣?。在近十幾年?nèi)，隨著計算機技術(shù)的高速發(fā)展，超精密機床的一些關(guān)鍵技術(shù)，如控制技術(shù)、反饋系統(tǒng)、伺服驅(qū)動裝置等方面有了很大的進步，提高了超精密機床的加工精度，目前，超精密已能夠直接加工出粗糙度達(dá)1nm 的表面。這些關(guān)鍵技術(shù)的發(fā)展概括起來有以下幾個方面：用天然花崗巖作機床床身，它具有非常高的熱穩(wěn)定性和機械穩(wěn)定性；利用空氣彈簧系統(tǒng)隔振；利用液體或氣體靜壓導(dǎo)軌，使阻尼增大，運動光滑，無摩擦；直流直線電機快速驅(qū)動系統(tǒng)，具有較好的動態(tài)剛度；高速空氣主軸，承載能力高，剛度大，可提高加工精度；開放式計算機數(shù)控技術(shù)（CNC），便于應(yīng)用第三方控制軟件，提高加工精度；高分辨率檢測裝置，可以提供精確的位置反饋；利用快速伺服機構(gòu)，實現(xiàn)多軸系統(tǒng)的宏微結(jié)合技術(shù)，用以加工復(fù)雜型面；在線測量和誤差補償技術(shù)，正確測量工件殘余誤差并最終消除誤差。

2.2 應(yīng)用實例

電子技術(shù)及光學(xué)技術(shù)的發(fā)展，大大促進了自由非球面及其他非傳統(tǒng)幾何形狀微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件的應(yīng)用。一些光學(xué)設(shè)計軟件的出現(xiàn)，使得光學(xué)設(shè)計者可以方便地對光學(xué)系統(tǒng)進行性能優(yōu)化，但這同時也會使得光學(xué)元件變得復(fù)雜，這就要求微光學(xué)元件制造技術(shù)能夠勝任加工出這些復(fù)雜的光學(xué)元件。對微光學(xué)元件設(shè)計者和制造者來說，單晶金剛石超精密加工技術(shù)具有很多優(yōu)勢，比如，能夠加工真正的三維結(jié)構(gòu)；加工零件的成形精度達(dá)亞微米級；表面粗糙度達(dá)Ra 值5nm，有些材料甚至可以達(dá)到1nm；能夠加
工大深寬比的結(jié)構(gòu)等。因此，在過去十幾年內(nèi)，超精密加工技術(shù)在微光學(xué)元件加工中的應(yīng)用實例也在逐漸增多。如單晶金剛石超精密加工技術(shù)已成功應(yīng)用于隱形眼鏡、棱鏡、非球面透鏡、微透鏡陣列、金字塔微結(jié)構(gòu)表面、減反射光柵等結(jié)構(gòu)的加工。用單晶金剛石車床加工的微結(jié)構(gòu)。雖然超精密加工技術(shù)對某些結(jié)構(gòu)光學(xué)元件的加工具有很多優(yōu)點，但將超精密加工技術(shù)與復(fù)制成型技術(shù)結(jié)合起來或許是加工微光學(xué)元件最有效的方式，即用超精密加工技術(shù)來加工復(fù)制模具，然后利用該模具制作出微光學(xué)元件。用單晶金剛石車床加工光學(xué)元件模具，需要注意選擇合適的加工參數(shù)，以減小毛刺，降低模具的誤差，另外要能加工出合適的金剛石刀具。用金剛石車床加工的模具來制作的菲涅爾透鏡用于高架投影儀已獲得巨大成功。

3 總結(jié)

微光學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，對微光學(xué)元件制造技術(shù)提出了更高的要求，超精密機械加工技術(shù)，經(jīng)過最近十多年來的快速發(fā)展，具有很多傳統(tǒng)光學(xué)制造技術(shù)，如光刻技術(shù)和LIGA 技術(shù)等所不具有的優(yōu)勢：①能加工真正的三維結(jié)構(gòu)，且精度達(dá)納米級；②能在模具上加工浮動對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)；③能在同一元件上加工出不同深寬比的結(jié)構(gòu)。在微光學(xué)制造領(lǐng)域，很多類似產(chǎn)品卻是由很多不同方法加工而成的，這說明了微光學(xué)制造技術(shù)的不成熟性，盡管超精密機械加工技術(shù)在微光學(xué)元件及其模具加工中的應(yīng)用具有很多的優(yōu)點，但也仍是處于初步發(fā)展階段。因此，超精密加工技術(shù)還具有很大的發(fā)展?jié)摿?。我們相信，超精密加工技術(shù)與復(fù)制成型技術(shù)結(jié)合，必將會推動微光學(xué)及其集成技術(shù)的大力發(fā)展。
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