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高精度測(cè)量

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  • 福建計(jì)量院承擔(dān)高精度測(cè)量儀成果產(chǎn)業(yè)化推廣(2016-08-25)

    近日,福建省科技廳高新處葉碧海處長(zhǎng)、周林平副處長(zhǎng)前往福建省計(jì)量院,就如何推進(jìn)由該院承擔(dān)的國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)“高精度衡器載荷測(cè)量?jī)x開(kāi)發(fā)和應(yīng)用” 成果產(chǎn)業(yè)化開(kāi)展調(diào)研?!?a href='http://www.bhmbl.cn/news/d184603.html' target='_blank' class='iii'>[詳情]

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    中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子裝備總體研究室在納米級(jí)高精度檢焦系統(tǒng)方法研究中取得新進(jìn)展:提出了一種雙光路光強(qiáng)調(diào)制光柵檢焦方法,該方法利用兩光路的信號(hào)比求解硅片的離焦量,消除了光強(qiáng)波動(dòng)…[詳情]

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