國(guó)內(nèi)首套硅基MEMS中試代工平臺(tái)建立(2016-07-01)

山東淄博成立國(guó)內(nèi)首套“硅基MEMS中試代工平臺(tái)”，未來將廣泛應(yīng)用于加速度計(jì)、陀螺儀、光學(xué)MEMS、圖像傳感器等領(lǐng)域。 　　 　　日前，由清華大學(xué)、淄博高新區(qū)MEMS研究院和國(guó)高（淄博）微系統(tǒng)科技有…[詳情]

山東淄博成立國(guó)內(nèi)首套硅基MEMS中試代工平臺(tái)(2016-06-30)

山東淄博成立國(guó)內(nèi)首套“硅基MEMS中試代工平臺(tái)”，未來將廣泛應(yīng)用于加速度計(jì)、陀螺儀、光學(xué)MEMS、圖像傳感器等領(lǐng)域。…[詳情]