氮含量
《硅單晶中氮含量的測(cè)定 二次離子質(zhì)譜法》即將制訂(2019-11-12)
但目前在硅單晶中氮元素的測(cè)試方法方面還是空白，無(wú)論是紅外光譜法還是二次離子質(zhì)譜法國(guó)內(nèi)目前都尚無(wú)相關(guān)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，只能借鑒SEMI MF2139-1103進(jìn)行測(cè)試。為此，國(guó)家相關(guān)機(jī)構(gòu)近期計(jì)劃制定一項(xiàng)有關(guān)于氮…[詳情]
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